KOMPOSITIONEN UND VERFAHREN ZUM POLIEREN UND EGALISIEREN VON OBERFLÄCHEN

An abrasive composition for use in polishing or planarizing the surface of a work piece is provided comprising about 30 to 50 percent of cerium oxide; about 8 to about 20 percent of fumed silica and about 15 to about 45 percent of precipitated silica. Methods using the composition to polish or plana...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: JENSEN, ELMER, W., NEW CASTLE, DE 19713, US, ROBERTS, JOHN, V., H., NEWARK, DE 19713, US, BRANCALEONI, GREGORY, NEWARK, DE 19702, US
Format: Patent
Sprache:ger
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