IONENSTRAHL-FRÄSSYSTEM UND VERFAHREN ZUR VORBEREITUNG VON PROBEN FÜR DIE ELEKTRONENMIKROSKOPIE

An ion beam milling system and method for electron microscopy specimen preparation is provided and is useful for the preparation for analysis by either TEM or SEM of semiconductors, metals, alloys, ceramics, and other inorganic materials. In one embodiment, a system and process are provided for the...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	ALANI, REZA
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS TESTING
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