Verfahren und Einrichtung zur automatischen Fokussierung des Ladungstraegerstrahles in Geraeten zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl
959,430. Discharge apparatus. CARL ZEISS-STIFTUNG, [trading as C. ZEISS [Firm of]]. Nov. 12, 1962 [Nov. 18, 1961], No. 42582/62. Heading H1D. [Also in Division H4] In electron/ion beam apparatus for working material, correct focusing is obtained by periodically varying the current flowing through an...
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Format: | Patent |
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