Verfahren und Einrichtung zur automatischen Fokussierung des Ladungstraegerstrahles in Geraeten zur Materialbearbeitung mittels Ladungstraegerstrahl

959,430. Discharge apparatus. CARL ZEISS-STIFTUNG, [trading as C. ZEISS [Firm of]]. Nov. 12, 1962 [Nov. 18, 1961], No. 42582/62. Heading H1D. [Also in Division H4] In electron/ion beam apparatus for working material, correct focusing is obtained by periodically varying the current flowing through an...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: SCHLEICH.. FRITZ, SIENKNECHT JUSTUS
Format: Patent
Sprache:ger
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