VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR GEPULSTEN LASERABSCHEIDUNG

Es wird eine Vorrichtung zur gepulsten Laserabscheidung bereitgestellt, die eine Reaktionskammer, die im Inneren einen Substrattisch befestigt und ein erstes Heizelement, das sich oberhalb des Substrattisches befindet, und ein zweites Heizelement, das sich unterhalb des Substrattisches befindet, umf...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Yang, Jingting, Jin, Kui, Xu, Bo, Yuan, Jie, Zhao, Zhongxian, Feng, Zhongpei
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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