Mikroelektrostatischer Lautsprecher

Akustische Vorrichtung, die eine Membran mit einer Kante beinhaltet. Eine Membranstütze ist an der Kante der Membran befestigt. Ein zentraler Bereich der Membran wird nicht von der Stütze gestützt. Eine erste Elektrode und die Membranstütze werden als ein einziges Element hergestellt. Die erste Elektrode ist parallel zu der Membran angeordnet. Die Membran ist so konfiguriert, dass sie akustisch auf ein variierendes erstes elektrisches Feld reagiert, das von der ersten Elektrode ausgeht, wenn eine variierende erste Spannung an die erste Elektrode angelegt wird. Auf einer der Membran zugewandten Oberfläche der ersten Elektrode ist eine Beschichtung aufgebracht. An acoustic device including a membrane having an edge. A membrane support is attached to the edge of the membrane. A central region of the membrane is unsupported by the support. A first electrode and the membrane support are manufactured as a single element. The first electrode is disposed parallel to the membrane. The membrane is configured to respond acoustically to a varying first electric field emanating from the first electrode when a varying first voltage is applied to the first electrode. A coating is deposited on a surface of the first electrode facing the membrane.