Probenhalter, Ionenätzvorrichtung, Probenbearbeitungsverfahren, Probenbetrachtungsverfahren und Probenbearbeitungs- und Betrachtungsverfahren

Probenhalter (30), der so in eine Ionenätzvorrichtung (1) eingeführt wird, dass er quer zu einem Bestrahlungsort eines Ionenstrahls (501) liegt und nach der Probenbearbeitung aus der Ionenätzvorrichtung (1) herausgenommen wird, der Probenhalter (30) umfassend:einen Griff (34);einen Hauptkörper (35)...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Takasu, Hisayuki, Kamino, Atsushi
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!