Probenhalter, Ionenätzvorrichtung, Probenbearbeitungsverfahren, Probenbetrachtungsverfahren und Probenbearbeitungs- und Betrachtungsverfahren

Probenhalter, Ionenätzvorrichtung, Probenbearbeitungsverfahren, Probenbetrachtungsverfahren und Probenbearbeitungs- und Betrachtungsverfahren

Probenhalter (30), der so in eine Ionenätzvorrichtung (1) eingeführt wird, dass er quer zu einem Bestrahlungsort eines Ionenstrahls (501) liegt und nach der Probenbearbeitung aus der Ionenätzvorrichtung (1) herausgenommen wird, der Probenhalter (30) umfassend:einen Griff (34);einen Hauptkörper (35)...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Takasu, Hisayuki, Kamino, Atsushi
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
BASIC ELECTRIC ELEMENTS
ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
ELECTRICITY
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creator Takasu, Hisayuki
Kamino, Atsushi
description Probenhalter (30), der so in eine Ionenätzvorrichtung (1) eingeführt wird, dass er quer zu einem Bestrahlungsort eines Ionenstrahls (501) liegt und nach der Probenbearbeitung aus der Ionenätzvorrichtung (1) herausgenommen wird, der Probenhalter (30) umfassend:einen Griff (34);einen Hauptkörper (35) des Probenhalters (30), der sich vom Griff (34) erstreckt;einen Spitzenabschnitt (32), der mit dem Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) verbunden und mit einem Probentisch (204) zum Befestigen der Probe (203) vorgesehen ist; undeinen Mechanismus, der ein relatives Positionsverhältnis zwischen einer Bearbeitungsoberfläche (206) der Probe (203), die am Probentisch (204) befestigt ist, und einer Bestrahlungsrichtung des Ionenstrahls (501) ändert und bewirkt, dass der Spitzenabschnitt (32) während der Probenbearbeitung Bestrahlung mit dem Ionenstrahl (501) vermeidet, wobeider Mechanismus den Spitzenabschnitt (32) in einem Zustand, in dem der Spitzenabschnitt (32) horizontal zum Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) liegt, in eine Richtung dreht, die einer Richtung entgegengesetzt ist, in der die Ionenquelle (60) vorgesehen ist, die die Bestrahlung mit dem Ionenstrahl (501) durchführt,der Mechanismus den Spitzenabschnitt (32) um eine Drehwelle (33) dreht, die an einem Verbindungsabschnitt zwischen dem Spitzenabschnitt (32) und dem Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) vorgesehen ist, undder Mechanismus umfasst:eine erste Welle (301), die im Inneren des Hauptkörpers (35) des Probenhalters (30) untergebracht ist, sich in einer Richtung vom Verbindungsabschnitt zum Griff (34) erstreckt und ein erstes Zahnrad (402) aufweist, undeine zweite Welle (401), die die gleiche Achse wie die Drehwelle (33) aufweist und ein zweites Zahnrad (403) umfasst, undwenn ein Drehmoment zum Drehen der ersten Welle (301) um eine Achse der ersten Welle (301) ausgeübt wird, das Drehmoment über das erste Zahnrad (402) auf das zweite Zahnrad (403) übertragen wird. The present invention is directed to a side entry type sample holder which enables observation with an observation apparatus without removing the sample to be analyzed from the sample holder after processing the sample to be analyzed by a processing apparatus. The sample holder includes a grip, a sample holder main body extending from the grip, a tip portion which is connected to the sample holder main body and provided with a sample table for fixing a sample, and a mechanism which changes a relative positional relationship betwe
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The present invention is directed to a side entry type sample holder which enables observation with an observation apparatus without removing the sample to be analyzed from the sample holder after processing the sample to be analyzed by a processing apparatus. The sample holder includes a grip, a sample holder main body extending from the grip, a tip portion which is connected to the sample holder main body and provided with a sample table for fixing a sample, and a mechanism which changes a relative positional relationship between a processing surface of the sample fixed to the sample table and an irradiation direction of an ion beam, and causes the tip portion to avoid irradiation with the ion beam during sample processing.</description><language>ger</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ; ELECTRICITY</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20220331&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=112016005621B4$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20220331&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=112016005621B4$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Takasu, Hisayuki</creatorcontrib><creatorcontrib>Kamino, Atsushi</creatorcontrib><title>Probenhalter, Ionenätzvorrichtung, Probenbearbeitungsverfahren, Probenbetrachtungsverfahren und Probenbearbeitungs- und Betrachtungsverfahren</title><description>Probenhalter (30), der so in eine Ionenätzvorrichtung (1) eingeführt wird, dass er quer zu einem Bestrahlungsort eines Ionenstrahls (501) liegt und nach der Probenbearbeitung aus der Ionenätzvorrichtung (1) herausgenommen wird, der Probenhalter (30) umfassend:einen Griff (34);einen Hauptkörper (35) des Probenhalters (30), der sich vom Griff (34) erstreckt;einen Spitzenabschnitt (32), der mit dem Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) verbunden und mit einem Probentisch (204) zum Befestigen der Probe (203) vorgesehen ist; undeinen Mechanismus, der ein relatives Positionsverhältnis zwischen einer Bearbeitungsoberfläche (206) der Probe (203), die am Probentisch (204) befestigt ist, und einer Bestrahlungsrichtung des Ionenstrahls (501) ändert und bewirkt, dass der Spitzenabschnitt (32) während der Probenbearbeitung Bestrahlung mit dem Ionenstrahl (501) vermeidet, wobeider Mechanismus den Spitzenabschnitt (32) in einem Zustand, in dem der Spitzenabschnitt (32) horizontal zum Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) liegt, in eine Richtung dreht, die einer Richtung entgegengesetzt ist, in der die Ionenquelle (60) vorgesehen ist, die die Bestrahlung mit dem Ionenstrahl (501) durchführt,der Mechanismus den Spitzenabschnitt (32) um eine Drehwelle (33) dreht, die an einem Verbindungsabschnitt zwischen dem Spitzenabschnitt (32) und dem Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) vorgesehen ist, undder Mechanismus umfasst:eine erste Welle (301), die im Inneren des Hauptkörpers (35) des Probenhalters (30) untergebracht ist, sich in einer Richtung vom Verbindungsabschnitt zum Griff (34) erstreckt und ein erstes Zahnrad (402) aufweist, undeine zweite Welle (401), die die gleiche Achse wie die Drehwelle (33) aufweist und ein zweites Zahnrad (403) umfasst, undwenn ein Drehmoment zum Drehen der ersten Welle (301) um eine Achse der ersten Welle (301) ausgeübt wird, das Drehmoment über das erste Zahnrad (402) auf das zweite Zahnrad (403) übertragen wird. The present invention is directed to a side entry type sample holder which enables observation with an observation apparatus without removing the sample to be analyzed from the sample holder after processing the sample to be analyzed by a processing apparatus. The sample holder includes a grip, a sample holder main body extending from the grip, a tip portion which is connected to the sample holder main body and provided with a sample table for fixing a sample, and a mechanism which changes a relative positional relationship between a processing surface of the sample fixed to the sample table and an irradiation direction of an ion beam, and causes the tip portion to avoid irradiation with the ion beam during sample processing.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</subject><subject>ELECTRICITY</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZOgLKMpPSs3LSMwpSS3SUfDMz0vNO7ykpKosv6goMzmjpDQvXUcBoiYpNbEoKTUTJFRcllqUlphRlJqHkCwpSoSoR0gqlOalYNGsCxZ3wqaDh4E1LTGnOJUXSnMzqLq5hjh76KYW5MenFhckJqfmpZbEu7gaGhoZGJoZGJiaGRk6mRgTqw4Ak41TVg</recordid><startdate>20220331</startdate><enddate>20220331</enddate><creator>Takasu, Hisayuki</creator><creator>Kamino, Atsushi</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20220331</creationdate><title>Probenhalter, Ionenätzvorrichtung, Probenbearbeitungsverfahren, Probenbetrachtungsverfahren und Probenbearbeitungs- und Betrachtungsverfahren</title><author>Takasu, Hisayuki ; Kamino, Atsushi</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE112016005621B43</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2022</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS</topic><topic>ELECTRICITY</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Takasu, Hisayuki</creatorcontrib><creatorcontrib>Kamino, Atsushi</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Takasu, Hisayuki</au><au>Kamino, Atsushi</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Probenhalter, Ionenätzvorrichtung, Probenbearbeitungsverfahren, Probenbetrachtungsverfahren und Probenbearbeitungs- und Betrachtungsverfahren</title><date>2022-03-31</date><risdate>2022</risdate><abstract>Probenhalter (30), der so in eine Ionenätzvorrichtung (1) eingeführt wird, dass er quer zu einem Bestrahlungsort eines Ionenstrahls (501) liegt und nach der Probenbearbeitung aus der Ionenätzvorrichtung (1) herausgenommen wird, der Probenhalter (30) umfassend:einen Griff (34);einen Hauptkörper (35) des Probenhalters (30), der sich vom Griff (34) erstreckt;einen Spitzenabschnitt (32), der mit dem Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) verbunden und mit einem Probentisch (204) zum Befestigen der Probe (203) vorgesehen ist; undeinen Mechanismus, der ein relatives Positionsverhältnis zwischen einer Bearbeitungsoberfläche (206) der Probe (203), die am Probentisch (204) befestigt ist, und einer Bestrahlungsrichtung des Ionenstrahls (501) ändert und bewirkt, dass der Spitzenabschnitt (32) während der Probenbearbeitung Bestrahlung mit dem Ionenstrahl (501) vermeidet, wobeider Mechanismus den Spitzenabschnitt (32) in einem Zustand, in dem der Spitzenabschnitt (32) horizontal zum Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) liegt, in eine Richtung dreht, die einer Richtung entgegengesetzt ist, in der die Ionenquelle (60) vorgesehen ist, die die Bestrahlung mit dem Ionenstrahl (501) durchführt,der Mechanismus den Spitzenabschnitt (32) um eine Drehwelle (33) dreht, die an einem Verbindungsabschnitt zwischen dem Spitzenabschnitt (32) und dem Hauptkörper (35) des Probenhalters (30) vorgesehen ist, undder Mechanismus umfasst:eine erste Welle (301), die im Inneren des Hauptkörpers (35) des Probenhalters (30) untergebracht ist, sich in einer Richtung vom Verbindungsabschnitt zum Griff (34) erstreckt und ein erstes Zahnrad (402) aufweist, undeine zweite Welle (401), die die gleiche Achse wie die Drehwelle (33) aufweist und ein zweites Zahnrad (403) umfasst, undwenn ein Drehmoment zum Drehen der ersten Welle (301) um eine Achse der ersten Welle (301) ausgeübt wird, das Drehmoment über das erste Zahnrad (402) auf das zweite Zahnrad (403) übertragen wird. The present invention is directed to a side entry type sample holder which enables observation with an observation apparatus without removing the sample to be analyzed from the sample holder after processing the sample to be analyzed by a processing apparatus. The sample holder includes a grip, a sample holder main body extending from the grip, a tip portion which is connected to the sample holder main body and provided with a sample table for fixing a sample, and a mechanism which changes a relative positional relationship between a processing surface of the sample fixed to the sample table and an irradiation direction of an ion beam, and causes the tip portion to avoid irradiation with the ion beam during sample processing.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
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