Optische Messskala und laserbasierte Erstellungsmethode dafür

A reflective metrological scale has a metal tape substrate and a scale pattern of elongated side-by-side marks surrounded by reflective surface areas of the substrate. Each mark has a furrowed cross section and may have a depth in the range of 0.5 to 2 microns. The central region of each mark may be...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MABBOUX, PIERRE-YVES, EHRMANN, JONATHAN S, SMART, DONALD V, HUNTER, BRADLEY L, PELSUE, KURT, DODSON, STUART A. II
Format: Patent
Sprache:ger
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