Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung

Es wird ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere ein mikromechanisch aktuierbares, optoelektronisches Bauelement in Form eines optischen Filters, Lasers (VCSEL) o. dgl., beschrieben, das wenigstens eine Membran (4a, 11a) aufweist, die mittels wenigstens einer Brücke (7, 14) an einem Halteblock...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	GUTERMUTH, DIETMAR, IRMER, SOEREN, DALEIDEN, JUERGEN, TARRAF, AMER, ATARO, EDWIN, HILLMER, HARTMUT, ROEMER, FRIEDHARD, PROTT, CORNELIA
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
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