Mikromechanisches Bauelement und Verfahren zu seiner Herstellung

Es wird ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere ein mikromechanisch aktuierbares, optoelektronisches Bauelement in Form eines optischen Filters, Lasers (VCSEL) o. dgl., beschrieben, das wenigstens eine Membran (4a, 11a) aufweist, die mittels wenigstens einer Brücke (7, 14) an einem Halteblock...

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Hauptverfasser:	GUTERMUTH, DIETMAR, IRMER, SOEREN, DALEIDEN, JUERGEN, TARRAF, AMER, ATARO, EDWIN, HILLMER, HARTMUT, ROEMER, FRIEDHARD, PROTT, CORNELIA
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS PHYSICS
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description	Es wird ein mikromechanisches Bauelement, insbesondere ein mikromechanisch aktuierbares, optoelektronisches Bauelement in Form eines optischen Filters, Lasers (VCSEL) o. dgl., beschrieben, das wenigstens eine Membran (4a, 11a) aufweist, die mittels wenigstens einer Brücke (7, 14) an einem Halteblock (8, 9) beweglich an einem Substrat (6) befestigt ist. Erfindungsgemäß ist die Brücke (7, 14) in einer kristallografischen Vorzugsrichtung angeordnet, die sich gegenüber anderen möglichen Richtungen durch eine kleinere Verformungsneigung auszeichnet. Zur Ermittlung der kristallografischen Vorzugsrichtung wird ein Verformungsfächer mit einer Vielzahl von radial abstehenden Armen hergestellt, deren Verformungen als ein Maß für die Verformungsneigung der Brücke (7, 14) interpretiert werden. Die Brücke (7, 14) wird infolgedessen in einer Richtung angeordnet, die im Verformungsfächer zu einer relativ kleinen Verformung führt (Fig. 4).
format	Patent
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Erfindungsgemäß ist die Brücke (7, 14) in einer kristallografischen Vorzugsrichtung angeordnet, die sich gegenüber anderen möglichen Richtungen durch eine kleinere Verformungsneigung auszeichnet. Zur Ermittlung der kristallografischen Vorzugsrichtung wird ein Verformungsfächer mit einer Vielzahl von radial abstehenden Armen hergestellt, deren Verformungen als ein Maß für die Verformungsneigung der Brücke (7, 14) interpretiert werden. 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