Verfahren zum Stabilisieren des Verdampfens mittels Schiffchenverdampfer

Verfahren zum Stabilisieren der Verdampfung im Vakuum mittels eines durch direkten Stromdurchgang geheizten Schiffchenverdampfers mit kontinuierlicher oder quasikontinuierlicher Zufuhr des Verdampfungsmaterials, dadurch gekennzeichnet, dass der zeitliche Verlauf mindestens einer elektrischen Zustand...

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Hauptverfasser: WÜNSCHE, TILO, FIETZKE, FRED, GOEDICKE, KLAUS, STRAACH, STEFFEN
Format: Patent
Sprache:ger
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creator WÜNSCHE, TILO
FIETZKE, FRED
GOEDICKE, KLAUS
STRAACH, STEFFEN
description Verfahren zum Stabilisieren der Verdampfung im Vakuum mittels eines durch direkten Stromdurchgang geheizten Schiffchenverdampfers mit kontinuierlicher oder quasikontinuierlicher Zufuhr des Verdampfungsmaterials, dadurch gekennzeichnet, dass der zeitliche Verlauf mindestens einer elektrischen Zustandsgröße des Schiffchens mittels mindestens einer Messeinrichtung erfasst wird und aus diesem Verlauf kontinuierlich Daten gewonnen werden, welche die Statusgrößen Temperatur des Schiffchens und Bedeckungsgrad des Schiffchens mit Verdampfungsmaterial qualitativ charakterisieren, wobei die gewonnenen Daten einen Regelalgorithmus beaufschlagen, welcher einen Sollwert ermittelt, der ein Maß für die Heizleistung des Schiffchens darstellt. Stabilized vacuum coating deposition by direct current heating of a shuttle evaporator (SE)(sic) with continuous or quasi-continuous feed of coating material, where the electrical state of the SE is measured at different times with continuous supply of data on the temperature and the degree of covering of the SE, data is passed to a control algorithm which determines a theoretical value which provides a measure of the heating output of the SE. An independent claim is included for a device for stabilized vacuum evaporation as referred to above.
format Patent
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Stabilized vacuum coating deposition by direct current heating of a shuttle evaporator (SE)(sic) with continuous or quasi-continuous feed of coating material, where the electrical state of the SE is measured at different times with continuous supply of data on the temperature and the degree of covering of the SE, data is passed to a control algorithm which determines a theoretical value which provides a measure of the heating output of the SE. 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COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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