Device for coating workpieces with thermal barriers layers comprises a evacuated transfer chamber, a rotating holder for the workpieces and secondary chambers for charging, heating and coating the workpieces

Device for coating workpieces with thermal barriers layers comprises a evacuated transfer chamber (3), a rotating holder (9) for the workpieces and secondary chambers (6,7,8) uniformly distributed on a wall part (5) of the transfer chamber for charging, heating and coating the workpieces. The secondary chambers each have a passage to the inner chamber of the transfer chamber. One of the secondary chambers has a closable opening for connecting the inner chamber to the surroundings and a lock (14) for closing the passage. Bei einer Vorrichtung zum Beschichten von Werkstücken mit Thermobarriere-Schichten ist in einer Transferkammer (3) eine Halterung (9) für die Werkstücke (11, ...) längsverschiebbar und rotierbar gelagert, die drei sich von der Antriebswelle (13) radial nach außen zu erstreckende Arme aufweist, die jeweils einen Winkel von 120 DEG C zwischen sich einschließen und mit drei Nebenkammern (6, 7, 8) korrespondieren, die an der Stirnwand (5) der Transferkammer (9) angeordnet sind und von denen die eine als Ladekammer (6) ausgebildet ist und mit einer nach außen zu öffnenden Ladekammertür (12) und einer Schleuse (14) zum Verschließen des Durchlasses von der Ladekammer (6) zur Transferkammer (3) versehen ist. Je nach Stellung der Halterung (9) befinden sich die an den freien Enden der Arme von Substrataufnahmen gehaltenen Werkstücke (11, ...) in den Nebenkammern (6, 7, 8), wo sie aufgeheizt, beschichtet oder aber von den Substrathaltern (10, ...) entfernt bzw. auf diese aufgesteckt werden oder aber die Werkstücke befinden sich für eine Weiterpositionierung in der Transferkammer (3).