HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN GALLIUMNITRIDSUBSTRAT
Ein Herstellungsverfahren für ein Galliumnitridsubstrat (GaN) beinhaltet einen Abziehschicht-Ausbildungsschritt zum Ausbilden einer Abziehschicht in einer Tiefe, die einer Dicke des herzustellenden Galliumnitridsubstrats entspricht, durch relatives Bewegen eines GaN-Ingots und eines Brennpunkts eine...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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