HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EIN GALLIUMNITRIDSUBSTRAT

Ein Herstellungsverfahren für ein Galliumnitridsubstrat (GaN) beinhaltet einen Abziehschicht-Ausbildungsschritt zum Ausbilden einer Abziehschicht in einer Tiefe, die einer Dicke des herzustellenden Galliumnitridsubstrats entspricht, durch relatives Bewegen eines GaN-Ingots und eines Brennpunkts eine...

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Nomoto, Asahi
Format: Patent
Sprache:ger
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