Mikrostruktur aus Glas, Mikro-Mechanik und zugehörige Verwendung

Um die Anwendungsmöglichkeiten des vorbekannten LIDE (laser induced deep etching)-Verfahrens auszuweiten, wird vorgeschlagen, bei der Herstellung einer mikromechanischen Mikrostruktur (1) durch Setzen von einer Vielzahl von Laserpulsen (4) auf einem Glas-Substrat (3) mit nachfolgendem nasschemischen...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Schudak, Svenja, Ostholt, Roman, Ambrosius, Norbert, Bertke, Maik, Lootze, Michael, Sziedat, Julia
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES, OR VITREOUSENAMELS CHEMISTRY CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING GLASS JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS MACHINE TOOLS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR METALLURGY MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY MINERAL OR SLAG WOOL PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SOLDERING OR UNSOLDERING SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS,MINERALS OR SLAGS SURFACE TREATMENT OF GLASS TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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