SYSTEM ZUR BEWEGUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS IN EINEM LASERBEARBEITUNGSSYSTEM

Die vorliegende Offenbarung bezieht sich allgemein auf eine Befestigungsstruktur für eine bewegliche Linse in einem Laserbearbeitungssystem zur Vermeidung von Vibrationen bei der Bewegung der Linse. Die vorliegende Erfindung stellt ein System zur Bewegung eines optischen Elements, umfassend einen Ra...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Wevers, Rutger, Heinrici, Axel
Format: Patent
Sprache:ger
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