Einzelspiegel eines Facettenspiegels einer Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage

Ein Einzelspiegel (20) für einen Facettenspiegel (13, 14) einer Beleuchtungsoptik (4) einer Projektionsbelichtungsanlage (1) weist eine Aktuator-Einrichtung (31) zur Verschwenkung des Einzelspiegels (20) und eine Sensor-Einrichtung (41) zur Erfassung der Verschwenkung auf, wobei die Aktuator-Einrich...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Hauf, Markus, Sarov, Yanko
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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