Einzelspiegel eines Facettenspiegels einer Beleuchtungsoptik einer Projektionsbelichtungsanlage
Ein Einzelspiegel (20) für einen Facettenspiegel (13, 14) einer Beleuchtungsoptik (4) einer Projektionsbelichtungsanlage (1) weist eine Aktuator-Einrichtung (31) zur Verschwenkung des Einzelspiegels (20) und eine Sensor-Einrichtung (41) zur Erfassung der Verschwenkung auf, wobei die Aktuator-Einrich...
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