Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung sehr kleiner Kapazitätsänderungen
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung einer Kapazitätsänderung, wobei ein oszillierendes Referenzsignal (R) und ein oszillierendes Oszillatorsignal (O) durch elektrische Schwingkreise erzeugt werden, wobei durch eine Kapazitätsänderung, die weniger als 100 Attofarad oder weniger als 10...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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