Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung sehr kleiner Kapazitätsänderungen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung einer Kapazitätsänderung, wobei ein oszillierendes Referenzsignal (R) und ein oszillierendes Oszillatorsignal (O) durch elektrische Schwingkreise erzeugt werden, wobei durch eine Kapazitätsänderung, die weniger als 100 Attofarad oder weniger als 10...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Bühler, Jonas, Vliex, Patrick, Grewing, Christian, van Waasen, Stefan
Format: Patent
Sprache:ger
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