Mikrospiegelbaugruppe, Herstellungsverfahren zur Herstellung einer Mikrospiegelbaugruppe und Verfahren zum Verkippen einer Spiegelfläche

Die Erfindung betrifft eine Mikrospiegelbaugruppe (1) einer Facettenanordnung (2) eines Facettenspiegels (119, 121). Die Mikrospiegelbaugruppe (1) weist einen Basisbereich (5), einen von dem Basisbereich (5) beabstandeten Trägerbereich (3) mit einer von dem Basisbereich (5) abgewandten Spiegelfläche...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Ameling, Ralf, Holz, Markus
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS OPTICS ORIGINALS THEREFOR PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft eine Mikrospiegelbaugruppe (1) einer Facettenanordnung (2) eines Facettenspiegels (119, 121). Die Mikrospiegelbaugruppe (1) weist einen Basisbereich (5), einen von dem Basisbereich (5) beabstandeten Trägerbereich (3) mit einer von dem Basisbereich (5) abgewandten Spiegelfläche (4) und eine mikromechanische Baugruppe (7) mit einem Federelement (8) und einem separaten Wärmeleitelement (9) auf. Das Federelement (8) und das Wärmeleitelement (9) sind voneinander beabstandet jeweils derart zwischen dem Basisbereich (5) und dem Trägerbereich (3) angeordnet und ausgebildet, dass der Trägerbereich (3) gegenüber dem Basisbereich (5) entlang zumindest zweier Rotationsfreiheitsgrade (R1,2) verkippbar ist.