Beschichtungseinrichtung mit variablem Gasaustrittsquerschnitt
Vorrichtung (1) zum Beschichten von Behältnissen (10) mit wenigstens einer Beschichtungsstation (4), wobei die Beschichtungsstation wenigstens eine erste Elektrode (14) und eine zweite Elektrode (16) aufweist, sowie wenigstens eine Vakuumkammer (12), innerhalb derer zumindest ein Teil des zu beschic...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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