Wafer-Chuck zur Handhabung von einem Wafer
Die Erfindung betrifft u.a. einen Wafer-Chuck (1) zur Handhabung von einem Wafer, insbesondere in einer Waferprozessvorrichtung, weiter vorzugsweise in einem akustischen Rastermikroskop, mit einer Fixiereinrichtung für einen Wafer, wobei die Fixiereinrichtung einen Freiraum (12) zur Aufnahme eines W...
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| Hauptverfasser: | , |
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| creator | Lowack, Mario Hoffrogge, Peter |
| description | Die Erfindung betrifft u.a. einen Wafer-Chuck (1) zur Handhabung von einem Wafer, insbesondere in einer Waferprozessvorrichtung, weiter vorzugsweise in einem akustischen Rastermikroskop, mit einer Fixiereinrichtung für einen Wafer, wobei die Fixiereinrichtung einen Freiraum (12) zur Aufnahme eines Wafers (50) und eine Halterung (10) mit mehreren, relativ zur Halterung (10) bewegbaren Waferkontaktfingern (16, 18) für einen Wafer (50) aufweist, wobei die Waferkontaktfinger (16, 18) ringförmig um den Freiraum (12) für den Wafer (50) herum, vorzugsweise in einer Ebene, angeordnet sind, wobei die Waferkontaktfinger (16, 18) in Richtung des Freiraums (12) für den Wafer (50) bewegbar oder vom Freiraum (12) für den Wafer (50) weg bewegbar sind, wobei, vorzugweise ausschließlich, eine Betätigungsvorrichtung (20) für die Waferkontaktfinger (16, 18) vorgesehen ist und bei Betätigung der Betätigungsvorrichtung (20) die Waferkontaktfinger (16, 18) gleichzeitig bewegt werden oder bewegbar sind.
The invention relates to a wafer chuck for handling a wafer, in particular in a wafer process device, further preferably in a scanning acoustic microscope, with a fixing device for the wafer, wherein the fixing device has a free space for receiving the wafer and a holder with multiple wafer contact fingers, which are movable relative to the holder for a wafer. The wafer contact fingers are arranged annularly around the free space for the wafer, preferably in one plane. The wafer contact fingers can be moved in the direction of the free space for the wafer or can be moved away from the free space for the wafer. One actuation device for the wafer contact fingers is provided and, when the actuation device is actuated, the wafer contact fingers are moved or can be moved simultaneously. |
| format | Patent |
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The invention relates to a wafer chuck for handling a wafer, in particular in a wafer process device, further preferably in a scanning acoustic microscope, with a fixing device for the wafer, wherein the fixing device has a free space for receiving the wafer and a holder with multiple wafer contact fingers, which are movable relative to the holder for a wafer. The wafer contact fingers are arranged annularly around the free space for the wafer, preferably in one plane. The wafer contact fingers can be moved in the direction of the free space for the wafer or can be moved away from the free space for the wafer. One actuation device for the wafer contact fingers is provided and, when the actuation device is actuated, the wafer contact fingers are moved or can be moved simultaneously.</description><language>ger</language><subject>ACCESSORIES THEREFOR ; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USINGWAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES ; APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FORPROJECTING OR VIEWING THEM ; BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CINEMATOGRAPHY ; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ; ELECTRICITY ; ELECTROGRAPHY ; HOLOGRAPHY ; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES ; MEASURING ; PHOTOGRAPHY ; PHYSICS ; SEMICONDUCTOR DEVICES ; TESTING</subject><creationdate>2022</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20221013&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102021109210A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,309,781,886,25569,76552</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20221013&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102021109210A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Lowack, Mario</creatorcontrib><creatorcontrib>Hoffrogge, Peter</creatorcontrib><title>Wafer-Chuck zur Handhabung von einem Wafer</title><description>Die Erfindung betrifft u.a. einen Wafer-Chuck (1) zur Handhabung von einem Wafer, insbesondere in einer Waferprozessvorrichtung, weiter vorzugsweise in einem akustischen Rastermikroskop, mit einer Fixiereinrichtung für einen Wafer, wobei die Fixiereinrichtung einen Freiraum (12) zur Aufnahme eines Wafers (50) und eine Halterung (10) mit mehreren, relativ zur Halterung (10) bewegbaren Waferkontaktfingern (16, 18) für einen Wafer (50) aufweist, wobei die Waferkontaktfinger (16, 18) ringförmig um den Freiraum (12) für den Wafer (50) herum, vorzugsweise in einer Ebene, angeordnet sind, wobei die Waferkontaktfinger (16, 18) in Richtung des Freiraums (12) für den Wafer (50) bewegbar oder vom Freiraum (12) für den Wafer (50) weg bewegbar sind, wobei, vorzugweise ausschließlich, eine Betätigungsvorrichtung (20) für die Waferkontaktfinger (16, 18) vorgesehen ist und bei Betätigung der Betätigungsvorrichtung (20) die Waferkontaktfinger (16, 18) gleichzeitig bewegt werden oder bewegbar sind.
The invention relates to a wafer chuck for handling a wafer, in particular in a wafer process device, further preferably in a scanning acoustic microscope, with a fixing device for the wafer, wherein the fixing device has a free space for receiving the wafer and a holder with multiple wafer contact fingers, which are movable relative to the holder for a wafer. The wafer contact fingers are arranged annularly around the free space for the wafer, preferably in one plane. The wafer contact fingers can be moved in the direction of the free space for the wafer or can be moved away from the free space for the wafer. One actuation device for the wafer contact fingers is provided and, when the actuation device is actuated, the wafer contact fingers are moved or can be moved simultaneously.</description><subject>ACCESSORIES THEREFOR</subject><subject>APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USINGWAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES</subject><subject>APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FORPROJECTING OR VIEWING THEM</subject><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CINEMATOGRAPHY</subject><subject>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</subject><subject>ELECTRICITY</subject><subject>ELECTROGRAPHY</subject><subject>HOLOGRAPHY</subject><subject>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</subject><subject>MEASURING</subject><subject>PHOTOGRAPHY</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>SEMICONDUCTOR DEVICES</subject><subject>TESTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2022</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZNAKT0xLLdJ1zihNzlaoKi1S8EjMS8lITCrNS1coy89TSM3MS81VACviYWBNS8wpTuWF0twMqm6uIc4euqkF-fGpxQWJyal5qSXxLq6GBkYGRoaGBpZGhgaOhsbEqgMAI6gpyA</recordid><startdate>20221013</startdate><enddate>20221013</enddate><creator>Lowack, Mario</creator><creator>Hoffrogge, Peter</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20221013</creationdate><title>Wafer-Chuck zur Handhabung von einem Wafer</title><author>Lowack, Mario ; Hoffrogge, Peter</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102021109210A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2022</creationdate><topic>ACCESSORIES THEREFOR</topic><topic>APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USINGWAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES</topic><topic>APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FORPROJECTING OR VIEWING THEM</topic><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CINEMATOGRAPHY</topic><topic>ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR</topic><topic>ELECTRICITY</topic><topic>ELECTROGRAPHY</topic><topic>HOLOGRAPHY</topic><topic>INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES</topic><topic>MEASURING</topic><topic>PHOTOGRAPHY</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>SEMICONDUCTOR DEVICES</topic><topic>TESTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Lowack, Mario</creatorcontrib><creatorcontrib>Hoffrogge, Peter</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Lowack, Mario</au><au>Hoffrogge, Peter</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Wafer-Chuck zur Handhabung von einem Wafer</title><date>2022-10-13</date><risdate>2022</risdate><abstract>Die Erfindung betrifft u.a. einen Wafer-Chuck (1) zur Handhabung von einem Wafer, insbesondere in einer Waferprozessvorrichtung, weiter vorzugsweise in einem akustischen Rastermikroskop, mit einer Fixiereinrichtung für einen Wafer, wobei die Fixiereinrichtung einen Freiraum (12) zur Aufnahme eines Wafers (50) und eine Halterung (10) mit mehreren, relativ zur Halterung (10) bewegbaren Waferkontaktfingern (16, 18) für einen Wafer (50) aufweist, wobei die Waferkontaktfinger (16, 18) ringförmig um den Freiraum (12) für den Wafer (50) herum, vorzugsweise in einer Ebene, angeordnet sind, wobei die Waferkontaktfinger (16, 18) in Richtung des Freiraums (12) für den Wafer (50) bewegbar oder vom Freiraum (12) für den Wafer (50) weg bewegbar sind, wobei, vorzugweise ausschließlich, eine Betätigungsvorrichtung (20) für die Waferkontaktfinger (16, 18) vorgesehen ist und bei Betätigung der Betätigungsvorrichtung (20) die Waferkontaktfinger (16, 18) gleichzeitig bewegt werden oder bewegbar sind.
The invention relates to a wafer chuck for handling a wafer, in particular in a wafer process device, further preferably in a scanning acoustic microscope, with a fixing device for the wafer, wherein the fixing device has a free space for receiving the wafer and a holder with multiple wafer contact fingers, which are movable relative to the holder for a wafer. The wafer contact fingers are arranged annularly around the free space for the wafer, preferably in one plane. The wafer contact fingers can be moved in the direction of the free space for the wafer or can be moved away from the free space for the wafer. One actuation device for the wafer contact fingers is provided and, when the actuation device is actuated, the wafer contact fingers are moved or can be moved simultaneously.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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