Transportanordnung, Vakuumanordnung, und Verfahren

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung aufweisen: eine erste Wickelhülsenkupplung zum Ankuppeln einer ersten Wickelhülse; eine zweite Wickelhülsenkupplung zum Ankuppeln einer zweiten Wickelhülse; eine dritte Wickelhülsenkupplung zum Ankuppeln einer dritten Wickelhülse; ei...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Melcher, Jens, Müller, Andreas
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL CONVEYING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS,CABLES INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PACKING PERFORMING OPERATIONS STORING SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Transportanordnung aufweisen: eine erste Wickelhülsenkupplung zum Ankuppeln einer ersten Wickelhülse; eine zweite Wickelhülsenkupplung zum Ankuppeln einer zweiten Wickelhülse; eine dritte Wickelhülsenkupplung zum Ankuppeln einer dritten Wickelhülse; eine erste Transportgruppe, eine zweite Transportgruppe und eine dritte Transportgruppe,; wobei die erste Transportgruppe einen ersten Transportpfad von der erste Wickelhülsenkupplung hin zu der dritten Transportgruppe bereitstellt zum Abwickeln eines ersten Substrats von der ersten Wickelhülse entlang des ersten Transportpfads; wobei die zweite Transportgruppe einen zweiten Transportpfad von der zweiten Wickelhülsenkupplung hin zu der dritten Transportgruppe bereitstellt zum Abwickeln eines zweiten Substrats von der zweiten Wickelhülse entlang des zweiten Transportpfads; wobei der erste Transportpfad und der zweite Transportpfad aneinandergrenzen an einem Eingang der dritten Transportgruppe zum Zusammenführen des ersten Substrats und des zweiten Substrats zu einem Substratstapel, wobei die dritte Transportgruppe einen dritten Transportpfad bereitzustellt von dem Eingang zu der dritten Wickelhülsenkupplung hin zum Aufwickeln des Substratstapels auf der dritten Wickelhülse.