Mikromechanische Relaisvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer mikromechanischen Relaisvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine mikroelektromechanische Relaisvorrichtung. Diese umfasst ein Substrat mit einem ersten elektrischen Kontakt und einem zweiten elektrischen Kontakt. Weiter umfasst die Relaisvorrichtung eine Kontaktbrücke, welche über eine Federstruktur an dem Substrat befestigt ist, und z...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Lewis, Matthew, Poppo, Marc, Reinmuth, Jochen, Eckstein, Rainer, Gugel, Denis
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SWITCHES ELECTRICITY EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS RELAYS SELECTORS TRANSPORTING
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