Mikromechanische Relaisvorrichtung und Verfahren zum Betreiben einer mikromechanischen Relaisvorrichtung

Die Erfindung betrifft eine mikroelektromechanische Relaisvorrichtung. Diese umfasst ein Substrat mit einem ersten elektrischen Kontakt und einem zweiten elektrischen Kontakt. Weiter umfasst die Relaisvorrichtung eine Kontaktbrücke, welche über eine Federstruktur an dem Substrat befestigt ist, und zwischen mindestens zwei Auslenkpositionen bewegbar ist. Die Kontaktbrücke ist in einer ersten Auslenkposition derart ausgelenkt, dass die Kontaktbrücke den ersten elektrischen Kontakt mit dem zweiten elektrischen Kontakt elektrisch verbindet. Die Kontaktbrücke ist in einer zweiten Auslenkposition derart ausgelenkt, dass die Kontaktbrücke, der erste elektrische Kontakt und der zweite elektrische Kontakt jeweils elektrisch voneinander getrennt sind. The invention relates to a micromechanical relay device. Said micromechanical relay device comprises a substrate having a first electrical contact and a second electrical contact. The relay device furthermore comprises a contact bridge which is fastened to the substrate by a spring structure and is movable between at least two deflection positions. In a first deflection position, the contact bridge is deflected such that the contact bridge electrically connects the first electrical contact to the second electrical contact. The contact bridge is deflected in a second deflection position such that the contact bridge, the first electrical contact and the second electrical contact are each electrically isolated from each other.