POSITIONSMESSVORRICHTUNG

Eine Relativpositions-Identifizierungseinheit 221 identifiziert eine relative Position einer Skala 111 zu einer lichtempfangenden Einheit. Eine Absolutpositions-Identifizierungseinheit 141 identifiziert eine absolute Position der Skala 111 zu einem Zeitpunkt der Ausführung einer Synchronisierungsanw...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Tsuboi, Masashi, Ichikawa, Yuichi
Format: Patent
Sprache:ger
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