Verfahren zum Beschichten wenigstens eines metallischen Bauteils

Ein Verfahren, das zum Beschichten wenigstens eines metallischen Bauteils, insbesondere wenigstens eines Düsenkörpers einer Einspritzdüse, geeignet ist, wobei das Verfahren (100) in einer eine HiPIMS-Anordnung und eine mit einer ECR-Plasmaquelle operierende Plasmaimmersionsimplantationsanordnung aufweisenden Prozesskammer abläuft, umfasst die Verfahrensschritte a) des Einbringens (110) des wenigstens einen Bauteils als dreidimensionales Substrat in die Vakuumkammer, b) des Selektierens (120) einer der Anordnungen in Abhängigkeit von einem aktuell auszubildenden Schichttyp, c) des Aktivierens (130) der selektierten Anordnung, um eine Schicht in vorbestimmter Schichtdicke auszubilden, und d) des gegebenenfalls Wiederholens der Verfahrensschritte b) bis c) solange, bis Schichten unterschiedlichen Schichttyps auf dem Bauteil jeweils ausgebildet sind. A method which is suitable for coating at least one metallic component, more particularly at least one nozzle body of an injection nozzle, wherein the method (100) takes place in a process chamber comprising an HiPIMS assembly and a plasma immersion implantation assembly operating with an ECR plasma source and comprises the method steps a) introducing (110) the at least one component into the vacuum chamber as a three-dimensional substrate, b) selecting (120) one of the assemblies according to a layer type currently to be formed, c) activating (130) the assembly selected to form a layer of a predetermined layer thickness, and d) optionally repeating method steps b) to c) until layers of various layer types are each formed on the component.