Optische Anordnung mit einer Gasspüleinrichtung zum Schutz der optischen Anordnung vor Kontaminationen und Verfahren zur Herstellung derselben
Optische Anordnung mit einer Gasspüleinrichtung zum Schutz der optischen Anordnung vor Kontaminationen, wobei die optische Anordnung ein einen inneren Bereich der optischen Anordnung abschließendes optisches Element (2) und eine Spülplatte (6) aufweist, die in Richtung des Strahlengangs der optische...
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| creator | Hegele, Tobias Holderer, Hubert |
| description | Optische Anordnung mit einer Gasspüleinrichtung zum Schutz der optischen Anordnung vor Kontaminationen, wobei die optische Anordnung ein einen inneren Bereich der optischen Anordnung abschließendes optisches Element (2) und eine Spülplatte (6) aufweist, die in Richtung des Strahlengangs der optischen Anordnung nach dem abschließenden optischen Element der optischen Anordnung angeordnet ist, wobei das abschließende optische Element und die Spülplatte jeweils eine zentrale Öffnung aufweisen und die Gasspüleinrichtung so ausgebildet ist, dass ein Strömungskanal in Form eines nicht rotationssymmetrischen Spalts (8) zwischen abschließendem optischen Element und Spülplatte ausgebildet ist, sodass ein Gasstrom durch die zentralen Öffnungen des abschließenden optischen Elements und der Spülplatte und zwischen dem abschließenden optischen Element und der Spülplatte in Richtung der zentralen Öffnung erfolgen kann, dadurch gekennzeichnet, dass die Spülplatte (6) als planparallele, rotationssymmetrische Platte ausgebildet und der nicht rotationssymmetrische Spalt (8) durch eine strukturierte Begrenzungsfläche des abschließenden optischen Elements und / oder mindestens ein Strukturierungselement (10) ausgebildet ist, das zwischen Spülplatte und abschließendem optischen Element angeordnet ist. |
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