Dosiervorrichtung zum Dosieren eines pulverförmigen Stoffes
Dosiervorrichtung zum Dosieren eines pulverförmigen Stoffes, insbesondere eines Precursors zum Zuführen desselben in einen CVD-Reaktor (2) einer CVD-Anlage (1) zum Abscheiden etwa einer metallischen Schicht auf einem Substrat, umfassend einen Vorratsbehälter (6) zum Bevorraten des pulverförmigen Sto...
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| description | Dosiervorrichtung zum Dosieren eines pulverförmigen Stoffes, insbesondere eines Precursors zum Zuführen desselben in einen CVD-Reaktor (2) einer CVD-Anlage (1) zum Abscheiden etwa einer metallischen Schicht auf einem Substrat, umfassend einen Vorratsbehälter (6) zum Bevorraten des pulverförmigen Stoffes mit einem Auslauf (8), eine unterhalb des Auslaufes (8) in einem Förderkanal (11) angeordnete Förderschnecke (12) mit einer Förderrichtung quer zur Auslaufrichtung des Vorratsbehälters (6) zum Fördern des pulverförmigen Stoffes von dem Auslauf (8) zu einer Mündung (20), an der der geförderte pulverförmige Stoff als Schwebfracht von einem an der Mündung (20) vorbeiströmenden Trägergasstrom aufgenommen wird, und eine Trägergasversorgung mit einer an eine Trägergasquelle anschließbaren, an der Mündung (20) des Förderkanals (11) oder einer Verlängerung derselben vorbeigeführten und an einen CVD-Reaktor (2) anschließbaren Trägergasleitung (14), dadurch gekennzeichnet, dass an die Trägergasleitung (14) in Strömungsrichtung des Trägergases vor Passieren des Zutritts der durch die Mündung (20) des Förderkanals (11) geförderten pulverförmigen Stoffpartikel eine Belüftungsleitung (18) mit ihrem ersten Ende angeschlossen ist, die mit ihrem anderen Ende, mit dem Inneren des Vorratsbehälters (6) in Fluidverbindung stehend, an diesen angeschlossen ist und dass in den Abschnitt der Trägergasleitung (14) zwischen der Mündung (21) der Belüftungsleitung (18) und dem Zutritt der durch die Mündung (20) des Förderkanals (11) geförderten pulverförmigen Stoffpartikel ein Schaltventil (22) eingeschaltet ist. |
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einer metallischen Schicht auf einem Substrat, umfassend einen Vorratsbehälter (6) zum Bevorraten des pulverförmigen Stoffes mit einem Auslauf (8), eine unterhalb des Auslaufes (8) in einem Förderkanal (11) angeordnete Förderschnecke (12) mit einer Förderrichtung quer zur Auslaufrichtung des Vorratsbehälters (6) zum Fördern des pulverförmigen Stoffes von dem Auslauf (8) zu einer Mündung (20), an der der geförderte pulverförmige Stoff als Schwebfracht von einem an der Mündung (20) vorbeiströmenden Trägergasstrom aufgenommen wird, und eine Trägergasversorgung mit einer an eine Trägergasquelle anschließbaren, an der Mündung (20) des Förderkanals (11) oder einer Verlängerung derselben vorbeigeführten und an einen CVD-Reaktor (2) anschließbaren Trägergasleitung (14), dadurch gekennzeichnet, dass an die Trägergasleitung (14) in Strömungsrichtung des Trägergases vor Passieren des Zutritts der durch die Mündung (20) des Förderkanals (11) geförderten pulverförmigen Stoffpartikel eine Belüftungsleitung (18) mit ihrem ersten Ende angeschlossen ist, die mit ihrem anderen Ende, mit dem Inneren des Vorratsbehälters (6) in Fluidverbindung stehend, an diesen angeschlossen ist und dass in den Abschnitt der Trägergasleitung (14) zwischen der Mündung (21) der Belüftungsleitung (18) und dem Zutritt der durch die Mündung (20) des Förderkanals (11) geförderten pulverförmigen Stoffpartikel ein Schaltventil (22) eingeschaltet ist.</description><language>ger</language><subject>CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY ; CHEMICAL SURFACE TREATMENT ; CHEMISTRY ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL ; COATING METALLIC MATERIAL ; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL ; METALLURGY ; MIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING, DISPERSING ; PERFORMING OPERATIONS ; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL ; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION ; THEIR RELEVANT APPARATUS ; 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