HETEROGENE METALLLEITUNGSZUSAMMENSETZUNGEN FÜR FORTSCHRITTLICHE INTEGRIERTER-SCHALTKREIS-STRUKTUR-FERTIGUNG

Integrierte Schaltungsstruktur (5800), aufweisend:eine erste Vielzahl von leitenden Verbindungsleitungen (5804) und Vias in einer ersten dielektrischen Zwischenschicht, ILD (5802), über einem Substrat (5801) und durch diese beabstandet, wobei einzelne der ersten Vielzahl von leitenden Verbindungslei...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Auth, Christopher P, Chikarmane, Vinay, Shin, Jinhong, Yeoh, Andrew W, Steigerwald, Joseph
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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