Optimierte thermische Synthese von Disilan und höheren Silanen

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von höheren aus niederen Silanen unter Einsatz eines Kühlers zwischen Reaktionszone und Destillation.

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Hauptverfasser: Lunt-Rieg, Ingrid, Rauleder, Hartwig, Moussallem, Imad, Elsner, Jens
Format: Patent
Sprache:ger
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