Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen in einer Beschichtungskammer zur Beschichtung der Innenflächen der zylinderförmigen Bauteile mittels Gasphasenabscheidung und Verfahren zur Beschichtung der Innenflächen von zylinderförmigen Bauteilen
Die Erfindung betrifft eine Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen (10) in einer Beschichtungskammer (12) zur Beschichtung der Innenflächen (34) der zylinderförmigen Bauteile (10) mittels Gasphasenabscheidung, wobei die Beschichtungskammer (12) eine nach außen abdichtende Umfangswand (14) aufweist...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
| Schlagworte: | |
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| creator | Szczepanski, Daniel Erbas Nowag, Ifakat Seda Wiethop, Marco |
| description | Die Erfindung betrifft eine Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen (10) in einer Beschichtungskammer (12) zur Beschichtung der Innenflächen (34) der zylinderförmigen Bauteile (10) mittels Gasphasenabscheidung, wobei die Beschichtungskammer (12) eine nach außen abdichtende Umfangswand (14) aufweist, wobei an einer Einlassseite (16) ein Gaseinleitungssystem (18) mit mindestens einer Gaseinlassöffnung (20) angeordnet ist und wobei auf einer der Einlassseite (16) gegenüberliegenden Auslassseite (24) mindestens eine Pumpe (28) zum Fördern von Gas aus der Beschichtungskammer (12) angeordnet ist, wobei in der Beschichtungskammer (12) die zu beschichtenden Bauteile (10) derart angeordnet sind, dass die Axialrichtung der Bauteile (10) von der Einlassseite (16) zu der Auslassseite (24) verläuft und mehrere Bauteile (10) in Axialrichtung hintereinander angeordnet sind. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Beschichtung von Innenflächen (34) von zylinderförmigen Bauteilen (10) in einer Beschichtungskammer (12). |
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Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Beschichtung von Innenflächen (34) von zylinderförmigen Bauteilen (10) in einer Beschichtungskammer (12).</description><language>ger</language><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT ; CHEMISTRY ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL ; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL ; COATING METALLIC MATERIAL ; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL ; METALLURGY ; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><creationdate>2018</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20180524&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102016222945A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25564,76547</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20180524&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102016222945A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Szczepanski, Daniel</creatorcontrib><creatorcontrib>Erbas Nowag, Ifakat Seda</creatorcontrib><creatorcontrib>Wiethop, Marco</creatorcontrib><title>Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen in einer Beschichtungskammer zur Beschichtung der Innenflächen der zylinderförmigen Bauteile mittels Gasphasenabscheidung und Verfahren zur Beschichtung der Innenflächen von zylinderförmigen Bauteilen</title><description>Die Erfindung betrifft eine Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen (10) in einer Beschichtungskammer (12) zur Beschichtung der Innenflächen (34) der zylinderförmigen Bauteile (10) mittels Gasphasenabscheidung, wobei die Beschichtungskammer (12) eine nach außen abdichtende Umfangswand (14) aufweist, wobei an einer Einlassseite (16) ein Gaseinleitungssystem (18) mit mindestens einer Gaseinlassöffnung (20) angeordnet ist und wobei auf einer der Einlassseite (16) gegenüberliegenden Auslassseite (24) mindestens eine Pumpe (28) zum Fördern von Gas aus der Beschichtungskammer (12) angeordnet ist, wobei in der Beschichtungskammer (12) die zu beschichtenden Bauteile (10) derart angeordnet sind, dass die Axialrichtung der Bauteile (10) von der Einlassseite (16) zu der Auslassseite (24) verläuft und mehrere Bauteile (10) in Axialrichtung hintereinander angeordnet sind. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zur Beschichtung von Innenflächen (34) von zylinderförmigen Bauteilen (10) in einer Beschichtungskammer (12).</description><subject>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</subject><subject>CHEMISTRY</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</subject><subject>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</subject><subject>COATING METALLIC MATERIAL</subject><subject>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</subject><subject>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</subject><subject>METALLURGY</subject><subject>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2018</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNjzsOgkAQhmksjHqHaSxNAB-JJSg-emNLVhjYjctAdhcTOY9n8ALcydolsbEwUs3kz_99kxk6r4BKlVJNOdxKguYuBaWosvapCpEjQchqg0LaTRCgIFQQok64SLixlL6yorBZU3_nYCVwJELKZPtIuOW75LcfCmEMSg17pivONBK7WB2KtLPVlMLZYowry_Q49ueZsTPImNQ4-cyRM91Fp81hhlUZo65YgoQm3kae67veyvf99WIZePO-vTfdPHzx</recordid><startdate>20180524</startdate><enddate>20180524</enddate><creator>Szczepanski, Daniel</creator><creator>Erbas Nowag, Ifakat Seda</creator><creator>Wiethop, Marco</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20180524</creationdate><title>Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen in einer Beschichtungskammer zur Beschichtung der Innenflächen der zylinderförmigen Bauteile mittels Gasphasenabscheidung und Verfahren zur Beschichtung der Innenflächen von zylinderförmigen Bauteilen</title><author>Szczepanski, Daniel ; Erbas Nowag, Ifakat Seda ; Wiethop, Marco</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102016222945A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2018</creationdate><topic>CHEMICAL SURFACE TREATMENT</topic><topic>CHEMISTRY</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL</topic><topic>COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL</topic><topic>COATING METALLIC MATERIAL</topic><topic>DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL</topic><topic>INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL</topic><topic>METALLURGY</topic><topic>SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Szczepanski, Daniel</creatorcontrib><creatorcontrib>Erbas Nowag, Ifakat Seda</creatorcontrib><creatorcontrib>Wiethop, Marco</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Szczepanski, Daniel</au><au>Erbas Nowag, Ifakat Seda</au><au>Wiethop, Marco</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen in einer Beschichtungskammer zur Beschichtung der Innenflächen der zylinderförmigen Bauteile mittels Gasphasenabscheidung und Verfahren zur Beschichtung der Innenflächen von zylinderförmigen Bauteilen</title><date>2018-05-24</date><risdate>2018</risdate><abstract>Die Erfindung betrifft eine Anordnung von zylinderförmigen Bauteilen (10) in einer Beschichtungskammer (12) zur Beschichtung der Innenflächen (34) der zylinderförmigen Bauteile (10) mittels Gasphasenabscheidung, wobei die Beschichtungskammer (12) eine nach außen abdichtende Umfangswand (14) aufweist, wobei an einer Einlassseite (16) ein Gaseinleitungssystem (18) mit mindestens einer Gaseinlassöffnung (20) angeordnet ist und wobei auf einer der Einlassseite (16) gegenüberliegenden Auslassseite (24) mindestens eine Pumpe (28) zum Fördern von Gas aus der Beschichtungskammer (12) angeordnet ist, wobei in der Beschichtungskammer (12) die zu beschichtenden Bauteile (10) derart angeordnet sind, dass die Axialrichtung der Bauteile (10) von der Einlassseite (16) zu der Auslassseite (24) verläuft und mehrere Bauteile (10) in Axialrichtung hintereinander angeordnet sind. 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