Mikromechanisches Bauelement
Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einer Haupterstreckungsebene vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement eine erste Kaverne umschließt und eine zweite Kaverne umschließt, wobei in der ersten Kaverne ein erster Druck herrscht und in der zweiten Kaverne ein zweiter Druck herrscht...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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Zusammenfassung: | Es wird ein mikromechanisches Bauelement mit einer Haupterstreckungsebene vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement eine erste Kaverne umschließt und eine zweite Kaverne umschließt, wobei in der ersten Kaverne ein erster Druck herrscht und in der zweiten Kaverne ein zweiter Druck herrscht, wobei eine sich im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene erstreckende erste Schicht des mikromechanischen Bauelements in eine sich im Wesentlichen parallel zu der Haupterstreckungsebene erstreckende zweite Schicht des mikromechanischen Bauelements zwischen der ersten Kaverne und der zweiten Kaverne im Wesentlichen senkrecht zu der Haupterstreckungsebene hineinragt.
A micromechanical component having a main extension plane is provided; the micromechanical component encloses a first cavern and a second cavern, and a first pressure prevails in the first cavern while a second pressure prevails in the second cavern, and a first layer of the micromechanical component, which extends essentially parallel to the main extension plane, projects into a second layer of the micromechanical component, which extends essentially parallel to the main extension plane, between the first cavern and the second cavern, essentially in a perpendicular direction to the main extension plane. |
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