Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors

Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors

Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors (100), aufweisend die Schritte: - Anlegen eines Testsignals an eine Elektrode (42) zum Erzeugen einer definierten Auslenkung einer Wippe (10) des z-Beschleunigungssensors (100) im Betrieb des z-Beschleunigungssensors (100); - E...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Franke, Axel, Hammer, Kay, Guenther, Sebastian
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
MEASURING
MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK
PHYSICS
TESTING
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creator Franke, Axel
Hammer, Kay
Guenther, Sebastian
description Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors (100), aufweisend die Schritte: - Anlegen eines Testsignals an eine Elektrode (42) zum Erzeugen einer definierten Auslenkung einer Wippe (10) des z-Beschleunigungssensors (100) im Betrieb des z-Beschleunigungssensors (100); - Erfassen der Auslenkung der Wippe (10) und Umrechnen der Auslenkung in einen Beschleunigungswert (B1); und - Auswerten des erfassten Beschleunigungswerts (B1) durch Ermitteln einer Differenz zwischen dem erfassten Beschleunigungswert (B1) und einem in einem Herstellungsprozess erfassten initialen Beschleunigungswert (B0), wobei eine Differenz zwischen dem erfassten Beschleunigungswert (B1) und dem initialen Beschleunigungswert (B0) mit einem definierten Schwellwert verglichen und bewertet wird. A method for operating a micromechanical z-accelerometer. The method includes applying a test signal to an electrode in order to induce a defined displacement of a rocker of the z-accelerometer during operation of the z-accelerometer; detecting the displacement of the rocker and converting the displacement into an acceleration value; and evaluating the acquired acceleration value by determining a difference between the acquired acceleration value and an initial acceleration value acquired in a manufacturing process, a difference between the acquired acceleration value and the initial acceleration value being compared to a defined threshold value and assessed.
format Patent
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A method for operating a micromechanical z-accelerometer. The method includes applying a test signal to an electrode in order to induce a defined displacement of a rocker of the z-accelerometer during operation of the z-accelerometer; detecting the displacement of the rocker and converting the displacement into an acceleration value; and evaluating the acquired acceleration value by determining a difference between the acquired acceleration value and an initial acceleration value acquired in a manufacturing process, a difference between the acquired acceleration value and the initial acceleration value being compared to a defined threshold value and assessed.</description><language>ger</language><subject>INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT ; MEASURING ; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK ; PHYSICS ; TESTING</subject><creationdate>2017</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20170831&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102016203153A1$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,776,881,25542,76516</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20170831&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102016203153A1$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Franke, Axel</creatorcontrib><creatorcontrib>Hammer, Kay</creatorcontrib><creatorcontrib>Guenther, Sebastian</creatorcontrib><title>Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors</title><description>Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors (100), aufweisend die Schritte: - Anlegen eines Testsignals an eine Elektrode (42) zum Erzeugen einer definierten Auslenkung einer Wippe (10) des z-Beschleunigungssensors (100) im Betrieb des z-Beschleunigungssensors (100); - Erfassen der Auslenkung der Wippe (10) und Umrechnen der Auslenkung in einen Beschleunigungswert (B1); und - Auswerten des erfassten Beschleunigungswerts (B1) durch Ermitteln einer Differenz zwischen dem erfassten Beschleunigungswert (B1) und einem in einem Herstellungsprozess erfassten initialen Beschleunigungswert (B0), wobei eine Differenz zwischen dem erfassten Beschleunigungswert (B1) und dem initialen Beschleunigungswert (B0) mit einem definierten Schwellwert verglichen und bewertet wird. A method for operating a micromechanical z-accelerometer. The method includes applying a test signal to an electrode in order to induce a defined displacement of a rocker of the z-accelerometer during operation of the z-accelerometer; detecting the displacement of the rocker and converting the displacement into an acceleration value; and evaluating the acquired acceleration value by determining a difference between the acquired acceleration value and an initial acceleration value acquired in a manufacturing process, a difference between the acquired acceleration value and the initial acceleration value being compared to a defined threshold value and assessed.</description><subject>INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT</subject><subject>MEASURING</subject><subject>MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK</subject><subject>PHYSICS</subject><subject>TESTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2017</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNirEOgjAYBrs4GPUdujiStDS6g2J4AONKKvmgjfQv6U8Xn15MfACnu0tuK9oH0mBdAsl3DrLGkuCfa8ETWAb_SjGgd5Y89-57FTVWm5DJj5lGZhDHxHuxGezEOPy4E8dbc7-0BebYgWfbg7B010arUulzqYw-mUqbf78Pr842vA</recordid><startdate>20170831</startdate><enddate>20170831</enddate><creator>Franke, Axel</creator><creator>Hammer, Kay</creator><creator>Guenther, Sebastian</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20170831</creationdate><title>Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors</title><author>Franke, Axel ; Hammer, Kay ; Guenther, Sebastian</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102016203153A13</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2017</creationdate><topic>INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT</topic><topic>MEASURING</topic><topic>MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK</topic><topic>PHYSICS</topic><topic>TESTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Franke, Axel</creatorcontrib><creatorcontrib>Hammer, Kay</creatorcontrib><creatorcontrib>Guenther, Sebastian</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Franke, Axel</au><au>Hammer, Kay</au><au>Guenther, Sebastian</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors</title><date>2017-08-31</date><risdate>2017</risdate><abstract>Verfahren zum Betreiben eines mikromechanischen z-Beschleunigungssensors (100), aufweisend die Schritte: - Anlegen eines Testsignals an eine Elektrode (42) zum Erzeugen einer definierten Auslenkung einer Wippe (10) des z-Beschleunigungssensors (100) im Betrieb des z-Beschleunigungssensors (100); - Erfassen der Auslenkung der Wippe (10) und Umrechnen der Auslenkung in einen Beschleunigungswert (B1); und - Auswerten des erfassten Beschleunigungswerts (B1) durch Ermitteln einer Differenz zwischen dem erfassten Beschleunigungswert (B1) und einem in einem Herstellungsprozess erfassten initialen Beschleunigungswert (B0), wobei eine Differenz zwischen dem erfassten Beschleunigungswert (B1) und dem initialen Beschleunigungswert (B0) mit einem definierten Schwellwert verglichen und bewertet wird. 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