Ionenstrahlquelle und Verfahren zur Ionenstrahlbehandlung

Ionenstrahlquelle (1), aufweisend:ein Gehäuse (6);eine Kathode (2) und eine Anode (3) zum Erzeugen von Ionen in einem Emissionsbereich (4);eine Isolationsstruktur (5), welche das Gehäuse (6) und die Anode (3) wärmeisolierend koppelt; undeinen Isolationsbereich (7);wobei die Anode (3) einen Heizberei...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Niederhausen, Thomas, Teichert, Bernd, Hauswald, Ralf
Format: Patent
Sprache:ger
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