Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen der Lage einer optischen Grenzfläche entlang einer ersten Richtung

Verfahren zum Bestimmen der Lage einer optischen Grenzfläche entlang einer ersten Richtung, bei dem folgende Schritte durchgeführt werden,a) Abbilden eines Musters in eine Ebene quer zur ersten Richtung, wobei das Muster in der Ebene in einer zweiten Richtung periodisch variiert, und Aufnehmen eines...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Schäfer, Lutz
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS PHYSICS TESTING
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