Kammeranordnung und Verfahren

Verfahren (100a) zum Abpumpen einer Kammeranordnung (100b), welche eine erste Vakuumkammer (102) und eine zweite Vakuumkammer (104) aufweist, welche mittels einer Substrattransfer-Öffnung (106) verbunden sind, wobei ein erstes Ventil (116a) ein Sammelrohr (114) mit der ersten Vakuumkammer (102) kopp...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Kenne, Marco, Haeusler, Christoph, Hencke, Rayk
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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