Niederhalter zum Niederhalten der Substratplätze eines Substrats

Ein Niederhalter zum Niederhalten der Substratplätze eines Substrats umfasst eine Platte (1) mit einer zentralen Ausnehmung (2), die wenigstens einen Substratplatz für das Bonden von "dies" zugänglich macht, und mit zwei beidseitig neben der Mitte der zentralen Ausnehmung (2) angeordneten, weiteren Ausnehmungen (3, 4), eine Niederhalteplatte (10) mit einer Ausnehmung (11) und Niederhaltestegen (12), einen ersten und zweiten pneumatischen Antrieb sowie Druckleitungen (9) zum Zuführen eines Druckgases zu den Druckkammern der pneumatischen Antriebe. Jeder pneumatische Antrieb umfasst einen Zylinder (5, 6) und ein Antriebselement, zwischen denen eine Druckkammer gebildet ist. Der Zylinder (5) des ersten pneumatischen Antriebs ist über der einen weiteren Ausnehmung (3) und der Zylinder (6) des zweiten pneumatischen Antriebs über der anderen weiteren Ausnehmung (4) befestigt. A downholder for holding down the substrate places of a substrate includes a plate (1) with a center opening (2) enabling at least one substrate position to approach a to-be-bonded bare chip, another two openings (3, 4) arranged adjacent to the center opening (2) and on the two sides, a downholder plate (10) with an opening (11) and a downholder strip (12), a first pneumatic driver, a second pneumatic driver and a pressure pipelines supplying pressure chambers of the two pneumatic drivers with compressed gasses. Each pneumatic driver comprises a cylinder (5, 6) and a drive element, and the pressure chamber forms between the cylinder (5, 6) and the drive element. The cylinder (5) of the first driver is fixed above the first opening (3) of the two openings, and the cylinder (6) of the second driver is fixed above the second opening (4) of the two openings.