Verfahren zur Herstellung eines Quarzglas-Großrohres

Zur Herstellung eines Quarzglas-Großrohres sind mehrstufiges Umformverfahren bekannt, bei denen in einem ersten Umformschritt unter Einsatz eines Formwerkzeugs ein Zwischenzylinder aus Quarzglas mit einer Zwischenzylinder-Wandstärke und einem Zwischenzylinder-Außendurchmesser geformt und anschließend abgekühlt wird, und in einem zweiten Umformschritt mindestens ein Längenabschnitt des abgekühlten Zwischenzylinders einer Heizzone zugeführt, darin zonenweise auf eine Erweichungstemperatur erhitzt und um seine Längsachse rotierend zu dem Quarzglas-Großrohr mit einer End-Wandstärke und einem End-Außendurchmesser umgeformt wird. Geometrieschwankungen nehmen mit dem Außendurchmesser des Endrohres exponentiell zu. Um Hiervon ausgehend ein Verfahren anzugeben, das bei wirtschaftlich vertretbarem Aufwand die Herstellung von Quarzglasrohren erlaubt, die auch bei großem Außendurchmesser von mehr als 500 mm eine hohe Maßhaltigkeit haben, wird erfindungsgemäß vorgeschlagen, dass das Quarzglas synthetisch erzeugt ist und einen mittleren Hydroxylgruppengehalt von 10 Gew.-ppm oder weniger hat, mit der zusätzlichen Maßgabe, dass bei Unterteilung des Zwischenzylinders in Längenabschnitte mit einer Länge von 1 cm, benachbarte Längenabschnitte in ihrem mittleren Hydroxylgruppengehalt einen Unterschied von weniger als 2 Gew.-ppm aufweisen. A method for producing a large quartz-glass pipe is provided. In a first forming step, an intermediate cylinder made of quartz glass and having an intermediate-cylinder wall thickness and outside diameter is formed by using a forming tool and is then cooled. In a second shaping step, at least one length segment of the cooled intermediate cylinder is fed to a heating zone, heated to a softening temperature zone by zone therein, and, while rotating about the longitudinal axis of the intermediate cylinder, shaped into the large quartz-glass pipe having a final wall thickness and outside diameter. The quartz glass is synthetically produced and has an average hydroxyl group content of 10 ppm by weight or less. If the intermediate cylinder is divided into length segments of 1 cm, adjacent length segments have a difference of less than 2 ppm by weight in the average hydroxyl group content thereof.