Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil
Mikromechanisches Bauteil mit:einem Stellelement (20), welches über mindestens eine Zuleitungsfeder (22) mit einer Zuleitungsfederkonstante verstellbar mit einer Halterung (24) verbunden ist; undeiner Antriebseinrichtung mit mindestens einer an dem Stellelement (20) angeordneten Aktorkomponente (26)...
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| Format: | Patent |
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| creator | Friese, Christoph Nitsche, Heiko Schock, Wolfram Pinter, Stefan Muchow, Joerg |
| description | Mikromechanisches Bauteil mit:einem Stellelement (20), welches über mindestens eine Zuleitungsfeder (22) mit einer Zuleitungsfederkonstante verstellbar mit einer Halterung (24) verbunden ist; undeiner Antriebseinrichtung mit mindestens einer an dem Stellelement (20) angeordneten Aktorkomponente (26), wobei über mindestens eine über die mindestens eine Zuleitungsfeder (22) geführte Leitungskomponente (28) ein elektrisches Potential oder ein Stromsignal (I) so an die Aktorkomponente (26) bereitstellbar ist, dass das Stellelement (20) mittels der Antriebseinrichtung in eine Bewegung in Bezug zu der Halterung (24) versetzbar ist;wobei das Stellelement (20) zusätzlich über mindestens eine leitungslose Schwingfeder (30) mit einer Schwingfederkonstante mit der Halterung (24) verbunden ist, wobei die Zuleitungsfederkonstante kleiner als die Schwingfederkonstante ist,wobei die Antriebseinrichtung einen magnetischen Antrieb mit einer an dem Stellelement (20) angeordneten Spulenkomponente als Aktorkomponente (26) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dassdas Stellelement (20) eine Spiegel- oder Filterkomponente (56) umfasst, und wobei die Spulenkomponente zumindest teilweise auf oder in einer Spulenplatte (58) angeordnet ist, an welcher ein Abstandshalter (60) verankert ist, dessen von der Spulenplatte (58) weg gerichtetes Ende eine von einer Lichtauftrefffläche (62) der Spiegel- oder Filterkomponente (56) weg gerichtete Innenseite (64) der Spiegel- oder Filterkomponente (56) kontaktiert, und wobei die mindestens eine Schwingfeder (30) mit einem ersten Federende (30a) an der Halterung (24) und mit einem zweiten Federende (30b) an der Spiegel- oder Filterkomponente (56) verankert ist.
A micromechanical component having a control element is described, which is connected via at least one supply line spring having a supply line spring constant to a mounting support in an adjustable manner, and a drive device having at least one actuator component situated on the control element. Via at least one line component guided over the at least one supply line spring an electric potential or a current signal is able to be provided to the actuator component in such a way that the control element is able to be set by the drive device into a motion with respect to the mounting support. The control element is additionally connected to the mounting support, and the supply line spring constant is less than vibratory spring constant. Also described is a method for producing a micromechanical |
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A micromechanical component having a control element is described, which is connected via at least one supply line spring having a supply line spring constant to a mounting support in an adjustable manner, and a drive device having at least one actuator component situated on the control element. Via at least one line component guided over the at least one supply line spring an electric potential or a current signal is able to be provided to the actuator component in such a way that the control element is able to be set by the drive device into a motion with respect to the mounting support. The control element is additionally connected to the mounting support, and the supply line spring constant is less than vibratory spring constant. Also described is a method for producing a micromechanical component.</description><language>ger</language><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES ; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY ; PERFORMING OPERATIONS ; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS ; TRANSPORTING</subject><creationdate>2023</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20231221&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102012206280B4$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25562,76317</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&date=20231221&DB=EPODOC&CC=DE&NR=102012206280B4$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>Friese, Christoph</creatorcontrib><creatorcontrib>Nitsche, Heiko</creatorcontrib><creatorcontrib>Schock, Wolfram</creatorcontrib><creatorcontrib>Pinter, Stefan</creatorcontrib><creatorcontrib>Muchow, Joerg</creatorcontrib><title>Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil</title><description>Mikromechanisches Bauteil mit:einem Stellelement (20), welches über mindestens eine Zuleitungsfeder (22) mit einer Zuleitungsfederkonstante verstellbar mit einer Halterung (24) verbunden ist; undeiner Antriebseinrichtung mit mindestens einer an dem Stellelement (20) angeordneten Aktorkomponente (26), wobei über mindestens eine über die mindestens eine Zuleitungsfeder (22) geführte Leitungskomponente (28) ein elektrisches Potential oder ein Stromsignal (I) so an die Aktorkomponente (26) bereitstellbar ist, dass das Stellelement (20) mittels der Antriebseinrichtung in eine Bewegung in Bezug zu der Halterung (24) versetzbar ist;wobei das Stellelement (20) zusätzlich über mindestens eine leitungslose Schwingfeder (30) mit einer Schwingfederkonstante mit der Halterung (24) verbunden ist, wobei die Zuleitungsfederkonstante kleiner als die Schwingfederkonstante ist,wobei die Antriebseinrichtung einen magnetischen Antrieb mit einer an dem Stellelement (20) angeordneten Spulenkomponente als Aktorkomponente (26) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dassdas Stellelement (20) eine Spiegel- oder Filterkomponente (56) umfasst, und wobei die Spulenkomponente zumindest teilweise auf oder in einer Spulenplatte (58) angeordnet ist, an welcher ein Abstandshalter (60) verankert ist, dessen von der Spulenplatte (58) weg gerichtetes Ende eine von einer Lichtauftrefffläche (62) der Spiegel- oder Filterkomponente (56) weg gerichtete Innenseite (64) der Spiegel- oder Filterkomponente (56) kontaktiert, und wobei die mindestens eine Schwingfeder (30) mit einem ersten Federende (30a) an der Halterung (24) und mit einem zweiten Federende (30b) an der Spiegel- oder Filterkomponente (56) verankert ist.
A micromechanical component having a control element is described, which is connected via at least one supply line spring having a supply line spring constant to a mounting support in an adjustable manner, and a drive device having at least one actuator component situated on the control element. Via at least one line component guided over the at least one supply line spring an electric potential or a current signal is able to be provided to the actuator component in such a way that the control element is able to be set by the drive device into a motion with respect to the mounting support. The control element is additionally connected to the mounting support, and the supply line spring constant is less than vibratory spring constant. Also described is a method for producing a micromechanical component.</description><subject>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</subject><subject>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</subject><subject>PERFORMING OPERATIONS</subject><subject>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</subject><subject>TRANSPORTING</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2023</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNrjZAjzzcwuys9NTc5IzMssTs5ILVZwSiwtSc3MUSjNS1HwSC0qLknNySnNSy8uSy1KS8woSs1TSDu8p0ghNTNPIReXZh4G1rTEnOJUXijNzaDq5hri7KGbWpAfn1pckJicmpdaEu_iamhgZGBoZGRgZmRh4GRiTKw6AMeYPLA</recordid><startdate>20231221</startdate><enddate>20231221</enddate><creator>Friese, Christoph</creator><creator>Nitsche, Heiko</creator><creator>Schock, Wolfram</creator><creator>Pinter, Stefan</creator><creator>Muchow, Joerg</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20231221</creationdate><title>Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil</title><author>Friese, Christoph ; Nitsche, Heiko ; Schock, Wolfram ; Pinter, Stefan ; Muchow, Joerg</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102012206280B43</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>ger</language><creationdate>2023</creationdate><topic>MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES</topic><topic>MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY</topic><topic>PERFORMING OPERATIONS</topic><topic>PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS</topic><topic>TRANSPORTING</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>Friese, Christoph</creatorcontrib><creatorcontrib>Nitsche, Heiko</creatorcontrib><creatorcontrib>Schock, Wolfram</creatorcontrib><creatorcontrib>Pinter, Stefan</creatorcontrib><creatorcontrib>Muchow, Joerg</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>Friese, Christoph</au><au>Nitsche, Heiko</au><au>Schock, Wolfram</au><au>Pinter, Stefan</au><au>Muchow, Joerg</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil</title><date>2023-12-21</date><risdate>2023</risdate><abstract>Mikromechanisches Bauteil mit:einem Stellelement (20), welches über mindestens eine Zuleitungsfeder (22) mit einer Zuleitungsfederkonstante verstellbar mit einer Halterung (24) verbunden ist; undeiner Antriebseinrichtung mit mindestens einer an dem Stellelement (20) angeordneten Aktorkomponente (26), wobei über mindestens eine über die mindestens eine Zuleitungsfeder (22) geführte Leitungskomponente (28) ein elektrisches Potential oder ein Stromsignal (I) so an die Aktorkomponente (26) bereitstellbar ist, dass das Stellelement (20) mittels der Antriebseinrichtung in eine Bewegung in Bezug zu der Halterung (24) versetzbar ist;wobei das Stellelement (20) zusätzlich über mindestens eine leitungslose Schwingfeder (30) mit einer Schwingfederkonstante mit der Halterung (24) verbunden ist, wobei die Zuleitungsfederkonstante kleiner als die Schwingfederkonstante ist,wobei die Antriebseinrichtung einen magnetischen Antrieb mit einer an dem Stellelement (20) angeordneten Spulenkomponente als Aktorkomponente (26) umfasst, dadurch gekennzeichnet, dassdas Stellelement (20) eine Spiegel- oder Filterkomponente (56) umfasst, und wobei die Spulenkomponente zumindest teilweise auf oder in einer Spulenplatte (58) angeordnet ist, an welcher ein Abstandshalter (60) verankert ist, dessen von der Spulenplatte (58) weg gerichtetes Ende eine von einer Lichtauftrefffläche (62) der Spiegel- oder Filterkomponente (56) weg gerichtete Innenseite (64) der Spiegel- oder Filterkomponente (56) kontaktiert, und wobei die mindestens eine Schwingfeder (30) mit einem ersten Federende (30a) an der Halterung (24) und mit einem zweiten Federende (30b) an der Spiegel- oder Filterkomponente (56) verankert ist.
A micromechanical component having a control element is described, which is connected via at least one supply line spring having a supply line spring constant to a mounting support in an adjustable manner, and a drive device having at least one actuator component situated on the control element. Via at least one line component guided over the at least one supply line spring an electric potential or a current signal is able to be provided to the actuator component in such a way that the control element is able to be set by the drive device into a motion with respect to the mounting support. The control element is additionally connected to the mounting support, and the supply line spring constant is less than vibratory spring constant. Also described is a method for producing a micromechanical component.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record> |
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