Dummy-Strukturen und Verfahren

Es werden ein Halbleiterbauelement (200) und ein Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements (200) offenbart. Das Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterbauelements (200) weist auf: Ausbilden einer Materialschicht auf einem Substrat (230), Strukturieren eines ersten halbglobalen Gebiets (...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	KAEMMER, KERSTIN, ROTHENHAEUSSER, STEFFEN, HUEBINGER, FRANK
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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