Blendeneinheit für ein Teilchenstrahlgerät sowie Teilchenstrahlgerät

Blendeneinheit (108, 109) für ein Teilchenstrahlgerät (100), das eine Teilchenstrahlsäule (100) aufweist, wobei die Teilchenstrahlsäule (100) mindestens einen Teilchenstrahlerzeuger (101) zur Erzeugung eines Teilchenstrahls aufweist, wobei die Blendeneinheit (108, 109) aufweist: - mindestens einen B...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Zeile, Ulrike, Dr, Bühler, Wolfram, Dr, Albiez, Michael, Dr, Lang, Matthias
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY
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