Beschichtungsanlage

Durch die Erfindung wird eine Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten im Takt-Betrieb bereitgestellt. Die Prozessstationen der Beschichtungsanlage sind kreisförmig angeordnet. Eine Handhabung zum Überführen der Substrate zwischen den Prozessstationen wird bereitgestellt. Die Prozessstatio...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	SICHMANN, EGGO, HUBER, MARCO, HOHN, OLIVER, ROSS, BJOERN, BINKOWSKA, PATRICK, REISING, MICHAEL, BECKER, WOLFGANG, CORD, BERNHARD, KEMPF, STEFAN, WOHLFART, PETER, RUETH, EDGAR
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL CONVEYING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY PACKING PERFORMING OPERATIONS PNEUMATIC TUBE CONVEYORS SEMICONDUCTOR DEVICES SHOP CONVEYOR SYSTEMS STORING SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Durch die Erfindung wird eine Beschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten im Takt-Betrieb bereitgestellt. Die Prozessstationen der Beschichtungsanlage sind kreisförmig angeordnet. Eine Handhabung zum Überführen der Substrate zwischen den Prozessstationen wird bereitgestellt. Die Prozessstationen weisen eine Schleuse zum Be- bzw. Entladen der Substrate, mindestens zwei Beschichtungskammern jeweils mit einer Plasmaquelle zum stationären Beschichten der Substrate und vorzugsweise eine Heizstation auf.