Verfahren und Vorrichtung zum Zünden eines Lichtbogens

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Zünden eines Lichtbogens zwischen einer Anode und in einem Abstand dazu angeordneten Kathode einer für eine Substratoberflächenmodifizierung einsetzbaren Plasmaquelle bei Umgebungsatmosphärenbedingungen. Aufgabe der Erfindung ist es, den Aufwand für die Zündung eines Lichtbogens einer Plasmaquelle zu reduzieren und den Zündprozess sicherer zu machen. Bei der Erfindung wird so vorgegangen, dass mittels zweier parallel zur Längsachse zwischen Anode und Kathode angeordneter Elektroden, die an einen Hochspannungsgenerator angeschlosssen und bei der Zündung mit einer hochfrequenten elektrischen Wechselspannung beaufschlagt sind, eine Barriere-Entladung mit einem zugeführten Gas gezündet wird. Dadurch kann dann bei an die Anode und die Kathode angelegter elektrischer Gleichspannung mittels der durch die Barriere-Entladung zwischen Anode und Kathode vorhandenen Ladungsträger ein Lichtbogen gezündet werden. A method and an apparatus relate to an ignition an arc between an anode and a cathode of a plasma source which can be used for a substrate surface modification at environmental atmosphere conditions. The cathode is arranged at a spacing from the anode. This method and the apparatus may reduce the effort for the ignition of an arc of a plasma source and to make the ignition process safer. The method is such that a barrier discharge is ignited with a supplied gas by means of two electrodes which are arranged parallel to the longitudinal axis between the anode and the cathode and are connected to a high-voltage generator and are supplied with a radio frequency electric AC voltage on the ignition. When an electric DC voltage is applied to the anode and to the cathode, an arc can thereby be ignited by means of the charge carriers present between the anode and the cathode due to the barrier discharge.