Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors

Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors

Verfahren, zum Betrieb eines Drehratensensors (1) mit einem eine Haupterstreckungsebene (100) aufweisendem Substrat (2) und einem ersten Coriolis-Element (3), wobei das erste Coriolis-Element (3) mittels erster Anregungsmittel (4) zu einer ersten Schwingung (5) parallel zu einer ersten Achse (X) anr...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Rocznik, Marko, Hauer, Joerg
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
GYROSCOPIC INSTRUMENTS
MEASURING
MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS
NAVIGATION
PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
PHYSICS
SURVEYING
TESTING
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creator Rocznik, Marko
Hauer, Joerg
description Verfahren, zum Betrieb eines Drehratensensors (1) mit einem eine Haupterstreckungsebene (100) aufweisendem Substrat (2) und einem ersten Coriolis-Element (3), wobei das erste Coriolis-Element (3) mittels erster Anregungsmittel (4) zu einer ersten Schwingung (5) parallel zu einer ersten Achse (X) anregbar ist und wobei eine erste Auslenkung des ersten Coriolis-Elements (3) aufgrund einer Corioliskraft in einer im Wesentlichen zur ersten Achse (X) senkrechten zweiten Achse (Z) mittels erster Detektionsmittel (6) nachweisbar vorgesehen ist, wobei der Drehratensensor (1) wenigstens eine Kompensationselektrode (7) aufweist, welche zur zumindest teilweisen Kompensation einer auf das erste Coriolis-Element (3) zur ersten Auslenkung parallel wirkenden Levitationskraft vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Coriolis-Element (3) mittels des ersten und/oder eines zweiten Anregungsmittels (4, 4') derart zur ersten Schwingung (5) angeregt wird, dass eine erste Frequenz (802) einer ersten Levitationsschwingung des ersten Coriolis-Elements (3) parallel zur zweiten Achse (Z) im Wesentlichen doppelt so groß wie eine zweite Frequenz (801) der ersten Schwingung (5) ist.
format Patent
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