Feldgeführter planarer Präzisionsantrieb mit einem luftgelagerten Läufer

Feldgeführter planarer Präzisionsantrieb mit einem luftgelagerten Läufer (1), der als Planartisch ausgebildet ist, welcher Permanentmagnetkreise (4) aufweist, weiterhin mit einer unterhalb des Läufers (1) befindlichen Statorplatte (6), auf der Statorplatte (6) jeweils gegenüberliegend vorgesehenen Antriebsspulenpaaren (3), um je nach Bestromung der Antriebsspulenpaare (3) Kraftwirkungen auf den Läufer (1) mit den Permanentmagnetkreisen (4) auszuüben, wobei die Antriebsspulenpaare (3) symmetrisch in einem rechtwinkligen x-y-Koordinatensystem angeordnet sind, weiterhin die Statorplatte (6) Linearführungen (5), die jeweils in einem rechten Winkel zueinander stehen, für jedes Antriebsspulenpaar (3) aufweist, um eine Bewegung der Antriebsspulenpaare (3) entlang der jeweiligen x- oder y-Achse des Koordinatensystems zu erreichen, wobei bei einer Verstellung des Läufers (1) in x-Richtung eine Kraftkomponente zum Mitziehen oder Mitbewegen derjenigen gegenüberliegenden Antriebsspulenpaare (3) vorliegt oder erzeugt wird, welche der Verstellung des Läufers (1) in y-Richtung dienen, sowie bei einer Verstellung des Läufers (1) in y-Richtung eine Kraftkomponente zum Mitziehen oder Mitbewegen derjenigen gegenüberliegenden Antriebsspulenpaare (3) vorliegt oder erzeugt wird, welche der Verstellung des Läufers (1) in x-Richtung dienen, dadurch gekennzeichnet, dass entlang der Außenränder der Unterseite des Planartisches (1) die Permanentmagnetkreise (4) angeordnet sind, die Längsausdehnung der Antriebsspulenpaare (3) nur unwesentlich größer als die Breite der Permanentmagnetkreise (4) ist und die Linearführungen (5) kreuzförmig symmetrisch auf dem Stator (6) angeordnet sind, wobei jede Linearführung (5) jeweils ein Antriebsspulenpaar (3) aufnimmt.