Surface defect i.e. micro scratch, detecting device, for e.g. thin film transistor-flat screen, has enlargement unit arranged between surface and illuminator, which is oriented transverse and perpendicular to feed direction of substrate

The device has a line-illuminator illuminating a detection area (16) of a substrate surface, and a detector (18) detecting light (20) emitted by the illuminator. The illuminator and the detector are arranged relative to each other. An optical aperture enlargement unit (24) is arranged between the illuminator and the substrate surface to enlarge optical aperture of the light emitted by the illuminator. The illuminator is oriented transverse and perpendicular to a feed direction (12) of a substrate (10). An independent claim is also included for a method for optically detecting a surface defect i.e. micro scratch, of a substrate. Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur optischen Detektion eines Oberflächenfehlers, insbesondere eines Feinstkratzers, eines Substrats, mit einer Beleuchtung zum Ausleuchten eines Detektionsbereichs einer Substratoberfläche und einem auf den Detektionsbereich gerichteten Detektor zum Detektieren von von der Beleuchtung ausgstrahltem Licht, wobei die Beleuchtung und der Detektor derart relativ zueinander angeordnet sind, dass an einem im Detektionsbereich befindlichen Oberflächenfehler gestreutes Licht der Beleuchtung zumindest teilweise zu dem Detektor und in einem fehlerfreien Detektionsbereich der Substratoberfläche gestreutes Licht der Beleuchtung nicht zu dem Detektor gelangt.