Verfahren zur Rekristallisierung von Schichtstrukturen mittels Zonenschmelzen, hierfür verwendete Vorrichtung und dessen Verwendung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Rekristallisierung von Schichtstrukturen mittels Zonenschmelzen, bei dem durch geschickte Anordnung mehrerer Wärmequellen eine deutliche Beschleunigung des Zonenschmelz-Verfahrens erreicht werden kann. Das Verfahren basiert darauf, dass durch entstehende Über...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: REBER, STEFAN, HAAS, FRIDOLIN, EYER, ACHIM
Format: Patent
Sprache:ger
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