Process to manufacture multi-layer thin-film electrical capacitors in which alternate pairs of materials are transposed relative to each other

In a process to manufacture a multi-layer thin-film electrical capacitor the substrate and screen are co-located, followed by presentation of electrodes, dielectric layers, and arrangement of the stack. The stack is then separated as required into individual units followed by contact between the mat...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: REBHAN, MATTHIAS
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
container_end_page
container_issue
container_start_page
container_title
container_volume
creator REBHAN, MATTHIAS
description In a process to manufacture a multi-layer thin-film electrical capacitor the substrate and screen are co-located, followed by presentation of electrodes, dielectric layers, and arrangement of the stack. The stack is then separated as required into individual units followed by contact between the material and electrodes (3). Alternate pairs of materials are transposed in first and second positions relative to each other. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines Vielschichtkondensators in Dünnschicht-Technologie, mit den Schritten DOLLAR A - zueinander relatives Positionieren eines Substrats (1) und mindestens einer eine Blendenöffnung (5) aufweisenden Blende, DOLLAR A - Anordnen von Materialschichten, insbesondere von Elektroden- (3) und Dielektrikaschichten (2), durch die Blendenöffnung (5) hindurch, und dabei erfolgendes Erzeugen eines Materialschichtstapels auf dem Substrat (1), DOLLAR A - mechanisches Vereinzeln eines beziehungsweise des Materialschichtstapels, DOLLAR A - elektrisches Kontaktieren von Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), an Elektroden. DOLLAR A Das Verfahren zeichnet sich durch mittels verschiedenem relativen Positionieren von Substrat (1) und Blendenöffnung (5) erfolgendes verschiedenes räumliches Anordnen der Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), zu deren räumlichem Zuordnen zu verschiedenen Elektroden aus.
format Patent
fullrecord <record><control><sourceid>epo_EVB</sourceid><recordid>TN_cdi_epo_espacenet_DE102005037875B3</recordid><sourceformat>XML</sourceformat><sourcesystem>PC</sourcesystem><sourcerecordid>DE102005037875B3</sourcerecordid><originalsourceid>FETCH-epo_espacenet_DE102005037875B33</originalsourceid><addsrcrecordid>eNqNjbEKwkAQRNNYiPoP21gGokG0ViOWFvaynBOycLkLexvFn_CbPcEPsBqYeTMzLd4XjQ4pkUXqOYwtOxsV1I_epPT8gpJ1EspWfE_wcKbi2JPjgZ1Y1EQS6NmJ64i9QQMbaGDJQWzzZraEfSLOq6Yc0hAT7qTwbPLA9xicy9E66LyYtBnG4qezYnlqrodziSHekPIlAux2bFbVuqo2Vb3dbTf7uv6X-wC7ZFCp</addsrcrecordid><sourcetype>Open Access Repository</sourcetype><iscdi>true</iscdi><recordtype>patent</recordtype></control><display><type>patent</type><title>Process to manufacture multi-layer thin-film electrical capacitors in which alternate pairs of materials are transposed relative to each other</title><source>esp@cenet</source><creator>REBHAN, MATTHIAS</creator><creatorcontrib>REBHAN, MATTHIAS</creatorcontrib><description>In a process to manufacture a multi-layer thin-film electrical capacitor the substrate and screen are co-located, followed by presentation of electrodes, dielectric layers, and arrangement of the stack. The stack is then separated as required into individual units followed by contact between the material and electrodes (3). Alternate pairs of materials are transposed in first and second positions relative to each other. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines Vielschichtkondensators in Dünnschicht-Technologie, mit den Schritten DOLLAR A - zueinander relatives Positionieren eines Substrats (1) und mindestens einer eine Blendenöffnung (5) aufweisenden Blende, DOLLAR A - Anordnen von Materialschichten, insbesondere von Elektroden- (3) und Dielektrikaschichten (2), durch die Blendenöffnung (5) hindurch, und dabei erfolgendes Erzeugen eines Materialschichtstapels auf dem Substrat (1), DOLLAR A - mechanisches Vereinzeln eines beziehungsweise des Materialschichtstapels, DOLLAR A - elektrisches Kontaktieren von Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), an Elektroden. DOLLAR A Das Verfahren zeichnet sich durch mittels verschiedenem relativen Positionieren von Substrat (1) und Blendenöffnung (5) erfolgendes verschiedenes räumliches Anordnen der Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), zu deren räumlichem Zuordnen zu verschiedenen Elektroden aus.</description><language>eng ; ger</language><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS ; CAPACITORS ; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE ; ELECTRICITY</subject><creationdate>2007</creationdate><oa>free_for_read</oa><woscitedreferencessubscribed>false</woscitedreferencessubscribed></display><links><openurl>$$Topenurl_article</openurl><openurlfulltext>$$Topenurlfull_article</openurlfulltext><thumbnail>$$Tsyndetics_thumb_exl</thumbnail><linktohtml>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20070329&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102005037875B3$$EHTML$$P50$$Gepo$$Hfree_for_read</linktohtml><link.rule.ids>230,308,780,885,25563,76318</link.rule.ids><linktorsrc>$$Uhttps://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?FT=D&amp;date=20070329&amp;DB=EPODOC&amp;CC=DE&amp;NR=102005037875B3$$EView_record_in_European_Patent_Office$$FView_record_in_$$GEuropean_Patent_Office$$Hfree_for_read</linktorsrc></links><search><creatorcontrib>REBHAN, MATTHIAS</creatorcontrib><title>Process to manufacture multi-layer thin-film electrical capacitors in which alternate pairs of materials are transposed relative to each other</title><description>In a process to manufacture a multi-layer thin-film electrical capacitor the substrate and screen are co-located, followed by presentation of electrodes, dielectric layers, and arrangement of the stack. The stack is then separated as required into individual units followed by contact between the material and electrodes (3). Alternate pairs of materials are transposed in first and second positions relative to each other. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines Vielschichtkondensators in Dünnschicht-Technologie, mit den Schritten DOLLAR A - zueinander relatives Positionieren eines Substrats (1) und mindestens einer eine Blendenöffnung (5) aufweisenden Blende, DOLLAR A - Anordnen von Materialschichten, insbesondere von Elektroden- (3) und Dielektrikaschichten (2), durch die Blendenöffnung (5) hindurch, und dabei erfolgendes Erzeugen eines Materialschichtstapels auf dem Substrat (1), DOLLAR A - mechanisches Vereinzeln eines beziehungsweise des Materialschichtstapels, DOLLAR A - elektrisches Kontaktieren von Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), an Elektroden. DOLLAR A Das Verfahren zeichnet sich durch mittels verschiedenem relativen Positionieren von Substrat (1) und Blendenöffnung (5) erfolgendes verschiedenes räumliches Anordnen der Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), zu deren räumlichem Zuordnen zu verschiedenen Elektroden aus.</description><subject>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</subject><subject>CAPACITORS</subject><subject>CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE</subject><subject>ELECTRICITY</subject><fulltext>true</fulltext><rsrctype>patent</rsrctype><creationdate>2007</creationdate><recordtype>patent</recordtype><sourceid>EVB</sourceid><recordid>eNqNjbEKwkAQRNNYiPoP21gGokG0ViOWFvaynBOycLkLexvFn_CbPcEPsBqYeTMzLd4XjQ4pkUXqOYwtOxsV1I_epPT8gpJ1EspWfE_wcKbi2JPjgZ1Y1EQS6NmJ64i9QQMbaGDJQWzzZraEfSLOq6Yc0hAT7qTwbPLA9xicy9E66LyYtBnG4qezYnlqrodziSHekPIlAux2bFbVuqo2Vb3dbTf7uv6X-wC7ZFCp</recordid><startdate>20070329</startdate><enddate>20070329</enddate><creator>REBHAN, MATTHIAS</creator><scope>EVB</scope></search><sort><creationdate>20070329</creationdate><title>Process to manufacture multi-layer thin-film electrical capacitors in which alternate pairs of materials are transposed relative to each other</title><author>REBHAN, MATTHIAS</author></sort><facets><frbrtype>5</frbrtype><frbrgroupid>cdi_FETCH-epo_espacenet_DE102005037875B33</frbrgroupid><rsrctype>patents</rsrctype><prefilter>patents</prefilter><language>eng ; ger</language><creationdate>2007</creationdate><topic>BASIC ELECTRIC ELEMENTS</topic><topic>CAPACITORS</topic><topic>CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE</topic><topic>ELECTRICITY</topic><toplevel>online_resources</toplevel><creatorcontrib>REBHAN, MATTHIAS</creatorcontrib><collection>esp@cenet</collection></facets><delivery><delcategory>Remote Search Resource</delcategory><fulltext>fulltext_linktorsrc</fulltext></delivery><addata><au>REBHAN, MATTHIAS</au><format>patent</format><genre>patent</genre><ristype>GEN</ristype><title>Process to manufacture multi-layer thin-film electrical capacitors in which alternate pairs of materials are transposed relative to each other</title><date>2007-03-29</date><risdate>2007</risdate><abstract>In a process to manufacture a multi-layer thin-film electrical capacitor the substrate and screen are co-located, followed by presentation of electrodes, dielectric layers, and arrangement of the stack. The stack is then separated as required into individual units followed by contact between the material and electrodes (3). Alternate pairs of materials are transposed in first and second positions relative to each other. Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauelements, insbesondere eines Vielschichtkondensators in Dünnschicht-Technologie, mit den Schritten DOLLAR A - zueinander relatives Positionieren eines Substrats (1) und mindestens einer eine Blendenöffnung (5) aufweisenden Blende, DOLLAR A - Anordnen von Materialschichten, insbesondere von Elektroden- (3) und Dielektrikaschichten (2), durch die Blendenöffnung (5) hindurch, und dabei erfolgendes Erzeugen eines Materialschichtstapels auf dem Substrat (1), DOLLAR A - mechanisches Vereinzeln eines beziehungsweise des Materialschichtstapels, DOLLAR A - elektrisches Kontaktieren von Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), an Elektroden. DOLLAR A Das Verfahren zeichnet sich durch mittels verschiedenem relativen Positionieren von Substrat (1) und Blendenöffnung (5) erfolgendes verschiedenes räumliches Anordnen der Materialschichten, insbesondere von Elektrodenschichten (3), zu deren räumlichem Zuordnen zu verschiedenen Elektroden aus.</abstract><oa>free_for_read</oa></addata></record>
fulltext fulltext_linktorsrc
identifier
ispartof
issn
language eng ; ger
recordid cdi_epo_espacenet_DE102005037875B3
source esp@cenet
subjects BASIC ELECTRIC ELEMENTS
CAPACITORS
CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
ELECTRICITY
title Process to manufacture multi-layer thin-film electrical capacitors in which alternate pairs of materials are transposed relative to each other
url https://sfx.bib-bvb.de/sfx_tum?ctx_ver=Z39.88-2004&ctx_enc=info:ofi/enc:UTF-8&ctx_tim=2025-01-13T03%3A59%3A12IST&url_ver=Z39.88-2004&url_ctx_fmt=infofi/fmt:kev:mtx:ctx&rfr_id=info:sid/primo.exlibrisgroup.com:primo3-Article-epo_EVB&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:patent&rft.genre=patent&rft.au=REBHAN,%20MATTHIAS&rft.date=2007-03-29&rft_id=info:doi/&rft_dat=%3Cepo_EVB%3EDE102005037875B3%3C/epo_EVB%3E%3Curl%3E%3C/url%3E&disable_directlink=true&sfx.directlink=off&sfx.report_link=0&rft_id=info:oai/&rft_id=info:pmid/&rfr_iscdi=true