Verfahren zum Herstellen eines Bauteils mit vertikalen Kondensatoren mit mehreren voneinander getrennten Dielektrikumsblöcken

The process involves forming a structured nucleation layer (18) from titanium oxide (TiO 2), whose base area (G) essentially corresponds to a base area of a dielectric (13) that is to be formed. A lead zirconium titanium trioxide-layer (Pb(Zr,Ti)O 3), which forms the dielectric, of the nucleation la...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	BRUCHHAUS, RAINER, WERSING, WOLFRAM
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
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