Verfahren zum Bestimmen einer Matrix von Transmissionskreuzkoeffizienten bei einer optischen Näherungskorrektur von Maskenlayouts

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zum Bestimmen einer Matrix von Transmissionskreuzkoeffizienten w für eine optische Modellbildung bei einer optischen Näherungskorrektur von Maskenlayouts 4. Hierbei werden in einem ersten Verfahrensschritt Fouriertransformierte einer Beleuchtungsapert...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	KOEHLE, RODERICK
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR CINEMATOGRAPHY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS
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